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龙图腾网获悉杭州中欣晶圆半导体股份有限公司申请的专利一种片盒清洗机用CDA供应缓冲装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117646870B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311850990.3，技术领域涉及：F17D1/04；该发明授权一种片盒清洗机用CDA供应缓冲装置及方法是由杨石平设计研发完成，并于2023-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种片盒清洗机用CDA供应缓冲装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种片盒清洗机用CDA供应缓冲装置及方法，包括CDA第一主管道，所述CDA第一主管道的右侧固定设置有第一单向阀，所述第一单向阀的右侧固定设置有缓冲储气罐机构，本发明涉及CDA供应缓冲技术领域。该片盒清洗机用CDA供应缓冲装置及方法，通过第一弧形槽、第二弧形槽、齿盘以及刻度槽之间的相互配合，转动转盘调节调节罩，过程中能观察指针指向的刻度槽，精准地调节第一弧形槽和第二弧形槽的重合面积，从而控制储气腔中CDA排出的速度，避免排出速度过快出现过量补充CDA的情况，从而在特定压力清洗需求下，能精准地调节储气腔向片盒清洗机内供应的CDA量，准确控制片盒清洗机内的CDA压力，满足特定的清洗需要。

本发明授权一种片盒清洗机用CDA供应缓冲装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种片盒清洗机用CDA供应缓冲装置，包括CDA第一主管道1，其特征在于：所述CDA第一主管道1的右侧固定设置有第一单向阀2，所述第一单向阀2的右侧固定设置有缓冲储气罐机构3，所述缓冲储气罐机构3的右侧固定设置有第二单向阀4，所述第二单向阀4的右侧固定设置有第一衔接管道5，所述第一衔接管道5的右侧固定连通有三通连接件6，所述三通连接件6的底部固定连通有CDA第二主管道7，所述三通连接件6的右侧固定连通有第二衔接管道8，所述第二衔接管道8的右侧固定设置有片盒清洗机9； 所述缓冲储气罐机构3包括方形块31，所述方形块31的左部开设有储气腔32，所述方形块31的右部开设有调节腔33，所述调节腔33的中部左右两侧壁之间设置有供应管组件34，所述供应管组件34的后方设置有调节盘组件35； 所述供应管组件34包括衔接环套341，所述衔接环套341固定连接在调节腔33的右侧壁上，所述调节腔33的右侧壁转动设置有位于衔接环套341内部的环形座342，所述环形座342的内部固定贯穿有中空管343，所述环形座342的左侧固定设置有密封垫344，所述中空管343的内壁均匀固定设置有若干导向块345，所述中空管343的左端固定设置有调节罩346，所述调节罩346的外部固定套设有齿环347，所述调节罩346的右侧上部开设有第一弧形槽348，所述调节罩346的内部转动贯穿有导管349，所述导管349的左端转动贯穿在储气腔32的右壁上，所述导管349的右侧下部开设有第二弧形槽3410，所述导管349的外部开设有两圈环槽3411，所述调节罩346的内壁固定设置有两个密封环3412，两个所述密封环3412分别转动在对应环槽3411内； 所述调节盘组件35包括转轴351，所述转轴351转动连接在调节腔33的左右两侧壁之间，所述转轴351的外部固定套设有齿盘352，所述转轴351的右端贯穿至方形块31的外部且固定设置有转盘353，所述转盘353的顶部固定设置有指针354，所述转盘353的下部滑动贯穿有插销355，所述插销355的外部套设有弹簧356，所述弹簧356固定连接在转盘353的右壁与插销355的右端之间，所述方形块31的右侧且位于转盘353的外部一周均匀开设有若干刻度槽36，所述方形块31的右侧且位于转轴351的外部一周均匀开设有若干插孔37，所述插销355的左端贯穿在对应插孔37的内部。

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