合肥维信诺科技有限公司;昆山国显光电有限公司肖冯俊树获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥维信诺科技有限公司;昆山国显光电有限公司申请的专利蒸发源、蒸镀装置以及蒸镀方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117286454B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311084341.7，技术领域涉及：C23C14/24；该发明授权蒸发源、蒸镀装置以及蒸镀方法是由肖冯俊树;金玉;刘全宝设计研发完成，并于2023-08-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本蒸发源、蒸镀装置以及蒸镀方法在说明书摘要公布了：本申请公开了蒸发源、蒸镀装置以及蒸镀方法，蒸发源包括：导流装置，导流装置包括空腔以及合围形成空腔的顶壁与内壁，用于导流待蒸镀气体；其中，导流装置包括至少一个分流板，分流板设置于顶壁与空腔之间；分流板包括多个开口区，分流板的开口率为20～40％；多个喷嘴，设置于导流装置的顶壁，且与空腔连通；其中，喷嘴的中轴线与导流装置高度方向的夹角为喷嘴的倾斜角，倾斜角大于等于10°且小于等于25°。本申请通过使喷嘴喷出的材料的喷射路径相对于基板倾斜，能够降低部分材料被导电柱的导电顶遮挡的概率，提高了材料在基板上的沉积范围，以使材料更充分地沉积到导电柱柱体上，从而实现了阴极金属膜层与导电柱柱体的搭接。
本发明授权蒸发源、蒸镀装置以及蒸镀方法在权利要求书中公布了：1.一种蒸发源，其特征在于，包括： 导流装置，所述导流装置包括空腔以及合围形成所述空腔的顶壁与内壁，用于导流待蒸镀气体；其中，所述导流装置包括至少一个分流板，所述分流板设置于所述顶壁与所述空腔之间；所述分流板包括多个开口区，所述分流板的开口率为20~40%； 多个喷嘴，设置于所述导流装置的所述顶壁，且与所述空腔连通； 其中，所述喷嘴的中轴线与所述导流装置高度方向的夹角为所述喷嘴的倾斜角，所述倾斜角大于等于10°且小于等于25°； 所述导流装置的所述顶壁为倾斜设置的斜壁，所述斜壁与水平方向的夹角大于等于10°且小于等于25°；其中，所述水平方向与所述导流装置高度方向垂直；其中，所述喷嘴垂直设置于所述斜壁上； 所述导流装置为导流管，所述斜壁为所述导流管的盖体上表面，盖体下表面为水平表面，通过改变所述盖体上表面与所述盖体下表面之间的相交角度，以改变所述倾斜角。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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