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龙图腾网获悉万华化学集团电子材料有限公司申请的专利持片机构清洁系统及其控制方法、电子设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117206239B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311196524.8，技术领域涉及：B08B3/02；该发明授权持片机构清洁系统及其控制方法、电子设备是由衣容琪;潘凤利;毛智斌;宗芳;冯帆设计研发完成，并于2023-09-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本持片机构清洁系统及其控制方法、电子设备在说明书摘要公布了：本发明公开一种持片机构清洁系统及其控制方法、电子设备。持片机构清洁系统包括：喷淋机构管路、吹扫机构管路、喷吹机构、清洗槽以及控制器，喷淋机构管路的进水端与外部供水装置连接，吹扫机构管路的进水端与外部供气装置连接，喷淋机构管路的出水端以及吹扫机构管路的出气端分别与喷吹机构连接，喷吹机构位于清洗槽内，控制器与喷淋机构管路以及吹扫机构管路通信连接，控制喷淋机构管路向喷吹机构供水以及控制吹扫机构管路向喷吹机构供气。本发明通过对持片机构接触过腐蚀液的部位进行全方位喷淋和干燥，可彻底清洗残留的高浓度NaOH腐蚀液，避免持片机构来回移动污染设备载台，防止持片机构碱结晶现象的出现，降低机台维护成本。

本发明授权持片机构清洁系统及其控制方法、电子设备在权利要求书中公布了：1.一种持片机构清洁系统，其特征在于，包括：喷淋机构管路、吹扫机构管路、喷吹机构、清洗槽6以及控制器，所述喷淋机构管路的进水端与外部供水装置1连接，所述吹扫机构管路的进水端与外部供气装置7连接，所述喷淋机构管路的出水端以及所述吹扫机构管路的出气端分别与所述喷吹机构连接，所述喷吹机构位于所述清洗槽6内，所述控制器与所述喷淋机构管路以及所述吹扫机构管路通信连接，控制所述喷淋机构管路向所述喷吹机构供水以及控制所述吹扫机构管路向所述喷吹机构供气； 所述清洗槽6包括位置检测模块17、升降装置以及槽体18，所述位置检测模块17以及升降装置容置在所述槽体18内，所述位置检测模块17与所述控制器通信连接，所述位置检测模块17用于对持片机构进行位置检测，且在所述持片机构位于所述槽体18内的清洗位置时向所述控制器发出到位信号； 所述喷吹机构的喷吹角度、位置以及时长可调，用于对所述持片机构进行清洗； 所述升降装置固定在所述槽体18内，所述升降装置与所述喷吹机构连接，用于控制所述喷吹机构的工作位置； 所述喷吹机构包括：喷吹主管23、多个喷吹支管以及支撑架33，多个所述喷吹支管相互平行设置且均直线排布有若干个喷嘴34，多个不同位置的所述喷嘴34的开口倾斜角度不同，所述支撑架33与所述升降装置连接，所述升降装置控制所述支撑架33在所述槽体18内的位置，多个所述喷吹支管由所述支撑架33承托，且所述喷吹支管的两端分别与所述喷吹主管23连接，所述喷吹主管23与所述喷淋机构管路的出水端以及所述吹扫机构管路的出气端连接； 所述持片机构包括持片机构夹板13以及由持片机构夹板13夹持固定的持片机构辊14，所述喷吹支管两端部的所述喷嘴34的角度开口与所述喷嘴34的轴线具有夹角，所述喷吹支管中部的所述喷嘴34的角度开口与所述喷嘴34的轴线无夹角，且在所述持片机构夹板13位于所述槽体18内时，所述喷吹支管两端部的所述喷嘴34的角度开口朝向所述持片机构夹板13。

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