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龙图腾网获悉宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司申请的专利单晶炉清洁方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117139306B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311113321.8，技术领域涉及：B08B9/087；该发明授权单晶炉清洁方法是由马旭武;曹启刚;芮阳;徐慶晧;王黎光;马玉怀;张昆设计研发完成，并于2023-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本单晶炉清洁方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种单晶炉清洁方法，涉及单晶炉清洁技术领域，在炉台运行时通过氩气吹扫防止氧化物附着，使得在晶棒生长的环境中，既避免氧化物附着在单晶炉内壁上，又防止氧化物对晶棒造成污染，在炉台停止运行时再对炉台进行全面清扫，使得炉台干净，保障晶体生长环境，确保产品质量。

本发明授权单晶炉清洁方法在权利要求书中公布了：1.一种单晶炉清洁方法，其特征在于：在炉台运行时通过氩气吹扫防止氧化物附着，保护隔离阀内部洁净， 单晶炉的隔离阀包括连接吹扫部、开合部，连接吹扫部包括第二法兰，第二法兰内开设环形空腔，第二法兰内侧均匀设置数个吹扫孔，开合部的下端与第二法兰连接，氩气在第二法兰的内环壁形成一层涡旋气膜旋转； 在炉台停止运行时对炉台进行全面清扫，使得炉台干净； 所述在炉台停止运行时对炉台进行全面清扫的具体步骤如下： S1：旋开副炉室，取出晶棒，对副炉室进行清洁； S2：旋开炉盖，将炉盖内壁及阀仓清洁干净； S3：取出加热器将下炉筒和炉底清洁干净； S4：再依次清洁石墨部件、加热部件、坩埚、热屏； S5：最后清洁上炉筒； 所述S5步骤中，使用清洁转盘进行清洁，所述清洁转盘为圆饼状，所述清洁转盘的圆周侧壁上设置清洁毛刷，所述清洁转盘顺时针转动，所述清洁毛刷与所述上炉筒的内壁接触； 所述清洁转盘内部中空，所述清洁转盘的侧面中部沿圆周方向设置清扫孔，所述清扫孔与所述清洁转盘的内部连通，所述清洁毛刷由数组清洁部组成，所述清洁部由数个清洁件组成，所述清洁件设置在清扫孔的两侧，每一组清洁部沿顺时针方向从清洁转盘的边缘向清扫孔靠近，相邻清洁部相互叠加，使得整个清洁毛刷呈螺旋分布； 所述清洁转盘与吸附管转动连接，所述吸附管与清洁转盘的中空内腔连通，所述清洁转盘转动清洁上炉筒内壁，清洁毛刷与上炉筒的内壁接触进行刷洗，所述吸附管负压吸附，使得刷洗出的氧化物被清扫孔吸附进入清洁转盘内部。

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