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龙图腾网获悉上海芯之翼半导体材料有限公司申请的专利密封圈安装用辅助工装及静电卡盘系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117103177B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311282072.5，技术领域涉及：B25B27/00；该发明授权密封圈安装用辅助工装及静电卡盘系统是由陶龙海设计研发完成，并于2023-09-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本密封圈安装用辅助工装及静电卡盘系统在说明书摘要公布了：本发明提供了一种密封圈安装用辅助工装及静电卡盘系统，包括与静电卡盘匹配设置的主体部、设于所述主体部的N个支撑部，以及抬升部，N个所述支撑部呈环状设置，用于从内侧对密封圈起支撑作用，使相邻两个所述支撑部之间的所述密封圈轴向与所述静电卡盘的卡槽径向相互垂直，按压时，使相邻两个所述支撑部之间的所述密封圈上边缘和下边缘同时进入到所述卡槽内；所述抬升部设于所述主体部，驱动所述主体部沿着轴向脱离所述静电卡盘，以带着所述支撑部脱离所述密封圈；本发明通过调整密封圈与卡槽的相对位置，从而确保在按压安装时密封圈的上边缘和下边缘能够同时进入到卡槽内，实现密封圈的顺利安装。

本发明授权密封圈安装用辅助工装及静电卡盘系统在权利要求书中公布了：1.一种密封圈安装用辅助工装，其特征在于，包括与静电卡盘匹配设置的主体部、设于所述主体部的N个支撑部，N为正整数，以及抬升部，其中： N个所述支撑部呈环状设置，用于从内侧对密封圈起支撑作用，使相邻两个所述支撑部之间的所述密封圈轴向与所述静电卡盘的卡槽径向相互垂直，以在按压时，使相邻两个所述支撑部之间的所述密封圈上边缘和下边缘同时进入到所述卡槽内； 还包括安装部，所述安装部设于所述主体部上，其中，所述支撑部设于所述安装部内，且所述安装部的数量与所述支撑部的数量相匹配设置； 还包括伸缩部，所述伸缩部设于所述安装部内，所述伸缩部的一端与所述支撑部连接，所述伸缩部的另一端连接在所述安装部上； 所述抬升部设于所述主体部，在相邻两个所述支撑部之间的所述密封圈进入到所述卡槽后，驱动所述主体部沿着轴向脱离所述静电卡盘，以带着所述支撑部脱离所述密封圈； 所述抬升部包括设于所述主体部的支撑管，所述支撑管的内管壁上设置有螺纹，以及调节螺杆和转轴； 所述调节螺杆螺纹插接在支撑管内； 所述转轴设于所述调节螺杆靠近所述静电卡盘的一端上； 还包括设于所述抬升部上的第一推动部，以及第二推动部，所述第二推动部的一端与所述第一推动部铰接，所述第二推动部的另一端与所述支撑部铰接，向下按压所述第一推动部，通过所述第二推动部推着所述支撑部沿着径向向远离所述主体部的中轴线方向运动；还包括设于所述第二推动部上的锁定部，以在所述第二推动部复位时，通过吸附作用实现所述主体部与所述静电卡盘的相互锁定； 所述锁定部包括活动设于所述主体部下端面上的密封箱，所述密封箱内活动设置有移动活塞，所述移动活塞的上端面上固定连接有支撑弹簧的一端，所述支撑弹簧的另一端固定连接在所述密封箱的内顶壁上，所述移动活塞的下端面上铰接有推拉杆的一端，所述推拉杆活动插接在所述密封箱的底板上，所述推拉杆的另一端铰接在所述第二推动部的上端面上，所述第二推动部的下端面上连接有吸盘，所述吸盘的下端可与陶瓷板相互抵接，所述密封箱上设有导气管的一端，所述导气管的另一端设于所述吸盘上，所述导气管用于连通所述密封箱和所述吸盘；所述导气管设于所述移动活塞的下方。

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