午芯(辽宁省)高科技有限公司姜贵民获国家专利权
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龙图腾网获悉午芯(辽宁省)高科技有限公司申请的专利电容式压力敏感芯片获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116659710B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210158594.3，技术领域涉及：G01L1/14；该发明授权电容式压力敏感芯片是由姜贵民;杨宇新;杨超设计研发完成，并于2022-02-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本电容式压力敏感芯片在说明书摘要公布了：电容式压力敏感芯片属于微机电系统MEMS技术领域，尤其涉及一种电容式压力敏感芯片。本发明提供一种性能优良的电容式压力敏感芯片。本发明包括基底,其特征在于基底上设置有感压下极板,下极板上方设置有感压上极板，上极板与下极板之间设置有腔体。
本发明授权电容式压力敏感芯片在权利要求书中公布了：1.电容式压力敏感芯片，包括基底,其特征在于基底上设置有感压下极板,下极板上方设置有感压上极板，上极板与下极板之间设置有腔体；基底上设置进压腔室； 所述基底为中部开通的环状基底； 所述中部开通的基底上设置有可使芯片悬空设置使下极板感压的卡槽，卡槽设置在基底的外周中部； 所述感压下极板上设置有介质层； 所述腔体为密封腔体； 所述上极板和下极板通过压焊点及金属引线或压焊点与外部电路连接； 所述感压下极板下方为进压腔室； 当有外界压力存在时，上极板与下极板同时受到压力作用发生形变，形成双动效果，使得两极板间电容值发生变化，由此将压力信号转换成电信号输出； 上极板和下极板通过压焊点及金属引线或压焊点与外部电路连接成压力检测电路，将压力信号转换成电信号输出； 上、下感压极板为环形； 当有外界压力存在时，上、下极板同时受到压力作用，两极板感压形变发生弯曲，极板之间距离发生改变，电容值发生变化；当压力大于某一压力值时，即接触压力，上极板开始与下极板上的介质层相互接触，在这一过程中接触面积增大，使得接触电容值远大于非接触电容值，测量电容以接触电容为主；在这一压力范围内，传感器表现出优越的线性度和更高的输出电容值，提高了传感器的性能； 上、下感压极板采用膜片。
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