华中科技大学史珈硕获国家专利权
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龙图腾网获悉华中科技大学申请的专利一种高探测率红外探测器及其应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116593005B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310560603.6,技术领域涉及:G01J5/20;该发明授权一种高探测率红外探测器及其应用是由史珈硕;刘泰格;胡钗;朱文杰;姬午阳;胡家祺;王哲;张新宇设计研发完成,并于2023-05-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高探测率红外探测器及其应用在说明书摘要公布了:本发明公开了一种高探测率红外探测器,包括真空室、纳尖组合、微通道板、镀铝荧光屏、光纤光锥和光敏元组件,所述纳尖组合、微通道板和镀铝荧光屏在真空环境中,红外入射窗、纳尖组合、微通道板、镀铝荧光屏和可见光输出窗沿着光路依次布置;纳尖组合包括硅基片以及纳尖阵列,所述纳尖阵列包括纳尖结构,硅基片和纳尖结构的材质均为硅晶圆;每个纳尖结构的尖端均指向微通道板;光纤光锥设置于镀铝荧光屏和光敏元组件之间,光纤光锥的一端与镀铝荧光屏连接而另一端与光敏元组件连接。本发明可输出倍增的电子,这些加速后的电子激励镀铝荧光屏产生较强的可见光,从而实现红外波段转换的高灵敏探测和高探测率。
本发明授权一种高探测率红外探测器及其应用在权利要求书中公布了:1.一种高探测率红外探测器,其特征在于,包括真空室、纳尖组合、微通道板、镀铝荧光屏、光纤光锥和光敏元组件,所述纳尖组合、微通道板和镀铝荧光屏均位于所述真空室内,所述真空室的相对的两个侧板上分别设置有红外入射窗和可见光输出窗,其中: 所述纳尖组合、微通道板和镀铝荧光屏在真空室内的气压为10-6mBar~9×10-6mBar的真空环境中,所述红外入射窗、纳尖组合、微通道板、镀铝荧光屏和可见光输出窗沿着光路依次布置,所述光敏元组件位于所述真空室外并且对应于镀铝荧光屏的位置布置,所述光敏元组件包括光敏元安装板及阵列分布在所述光敏元安装板上的多个光敏元; 所述纳尖组合包括硅基片以及设置在所述硅基片上的纳尖阵列,所述纳尖阵列包括呈阵列分布的多个纳尖结构,每个所述纳尖结构的尖端均指向微通道板,其中,所述硅基片和所述纳尖结构的材质均为硅晶圆; 所述光纤光锥设置于所述镀铝荧光屏和所述光敏元组件之间并且密封安装在所述可见光输出窗上,所述光纤光锥的一端与所述镀铝荧光屏连接而另一端与所述光敏元安装板连接; 所述纳尖结构的形状为圆锥或正棱锥,并且: 当所述纳尖结构形状为圆锥时,所述圆锥的高度为1.1μm~1.4μm,所述圆锥的母线与圆锥的底面的夹角为45°~55°,圆锥的底面直径D为1.7μm~2.2μm,同一行和同一列的任意相邻的两个圆锥的底面的间距B1均为0.8μm~0.9μm; 当所述纳尖结构的形状为正棱锥时,所述正棱锥的高度为1.1μm~1.4μm,所述正棱锥的侧面与正棱锥的底面的夹角为45°~55°,正棱锥的底面的边长L为1.7μm~2.2μm,同一行和同一列的任意相邻的两个正棱锥的底面的间距B2均为0.8μm~0.9μm。
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