上海中欣晶圆半导体科技有限公司葛迎军获国家专利权
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龙图腾网获悉上海中欣晶圆半导体科技有限公司申请的专利一种自动配液装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116510611B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310478220.4，技术领域涉及：B01F35/83；该发明授权一种自动配液装置是由葛迎军;吴礼文;胡兴平设计研发完成，并于2023-04-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种自动配液装置在说明书摘要公布了：本发明涉及硅片清洗药液配置技术领域，具体地说，涉及一种自动配液装置，包括称量管道，一端通过第一动力泵连接原液槽；冲洗管道，一端连接药液槽，另一端与称量管道的另一端连接；液位传感器，设于称量管道处且用于感应称量管道中原液的液位；冲洗口，设于冲洗管道上；称量管道与冲洗管道的连接处设有第一阀门；于原液触发液位传感器时，第一动力泵停止工作；本申请中液位传感器的设置，能够较为精准地抽取称量原液，由于液位传感器固定在称量管道上，故而在每次配置药液时，对原液的抽取能够保持基本相同的量，从而保持配置的药液的浓度保持基本一致，提高配置药液的准确性以及稳定性；可实现工作人员无接触自动配置浓度准确且稳定的药液。
本发明授权一种自动配液装置在权利要求书中公布了：1.一种自动配液装置，其特征在于：包括， 称量管道，一端通过第一动力泵连接原液槽； 冲洗管道，一端连接药液槽，另一端与所述称量管道的另一端连接； 液位传感器，设于所述称量管道处且用于感应所述称量管道中原液的液位； 冲洗口，设于所述冲洗管道上；所述冲洗口处通过第二动力泵连接有水槽； 所述称量管道与所述冲洗管道的连接处设有第一阀门；于所述原液触发所述液位传感器的情况下，所述第一动力泵停止工作； 还包括与所述称量管道呈夹角设置的支管，所述支管的一端与所述称量管道相连接；所述液位传感器设置于所述支管上。
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