清华大学唐传祥获国家专利权
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龙图腾网获悉清华大学申请的专利电子束团注入系统和极紫外光源获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116209131B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111443651.4，技术领域涉及：H05H7/00；该发明授权电子束团注入系统和极紫外光源是由唐传祥;潘志龙;李任恺;张晓阳;黄鹏玮;黄文会;杜应超;施嘉儒;陈怀璧;邓秀杰;赵午设计研发完成，并于2021-11-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本电子束团注入系统和极紫外光源在说明书摘要公布了：本公开的实施例涉及电子束团注入系统和极紫外EUV光源。该电子束团注入系统包括：光阴极电子枪、直线加速器和展束环。光阴极电子枪用于产生特定时间结构、特定电荷量的电子束团串，直线加速器用于对电子枪产生的电子束团串进行加速并保证其发射度在一定的范围内，展束环用于对多个电子束团进行展束，以形成长度至少为1ns的连续电子束团。该注入系统可以为一种加速器型的极紫外光源装置提供高流强的均匀电子源，从而实现kW量级的EUV平均输出功率。
本发明授权电子束团注入系统和极紫外光源在权利要求书中公布了：1.一种用于极紫外EUV光源的用于电子束团注入的系统，包括： 展束环，被配置为对连续的多个电子束团进行展束，以形成长度至少为1ns的连续电子束团。
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