厦门大学;嘉庚创新实验室周锐获国家专利权
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龙图腾网获悉厦门大学;嘉庚创新实验室申请的专利基于微透镜阵列曝光工艺的质量检测方法及参数调节方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115829977B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211584133.9,技术领域涉及:G06T7/00;该发明授权基于微透镜阵列曝光工艺的质量检测方法及参数调节方法是由周锐;姚宇超;王振忠;洪明辉设计研发完成,并于2022-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于微透镜阵列曝光工艺的质量检测方法及参数调节方法在说明书摘要公布了:本发明涉及曝光技术领域,特别涉及一种基于微透镜阵列曝光工艺的质量检测方法及参数调节方法。质量检测方法包括步骤:建立可识别出每一曝光点图案类别的曝光图案检测模型;图案类别包括合格图案及不合格图案;设定初始曝光参数并获取经MLA曝光工艺得到的曝光图像;将曝光图像输入至曝光图案检测模型中以生成每一曝光点对应图案类别的数据信息集;根据数据信息集判断曝光点的图案类别并统计曝光图像中合格图案与不合格图案的曝光点数量,以得到合格图案的曝光点数量占全部曝光点数量的比例。通过上述设置,能够自动识别合格图案与不合格图案,从而自动化得到MLA曝光质量的合格率,有效提升质量检测精度和速度。
本发明授权基于微透镜阵列曝光工艺的质量检测方法及参数调节方法在权利要求书中公布了:1.一种基于微透镜阵列曝光工艺的质量检测方法,其特征在于,包括以下步骤: 基于卷积神经网络建立可识别出每一曝光点图案类别的曝光图案检测模型;所述图案类别包括合格图案及不合格图案; 设定初始曝光参数,并获取经MLA曝光工艺得到待检测曝光点的曝光图像;将所述曝光图像输入至所述曝光图案检测模型中,以生成每一曝光点对应所述图案类别的数据信息集;所述数据信息集至少包括每一目标曝光点对应的所述图案类别、坐标位置及曝光点尺寸信息;所述数据信息集通过向量表征数据S,X,Y,W,H来表示,其中,S表示图案类别,X、Y表示所述目标曝光点中心相对于图像的位置,W、H表示所述目标曝光点的实际尺寸; 根据所述数据信息集判断曝光点的所述图案类别,并统计所述曝光图像中合格图案与不合格图案的曝光点数量,以得到合格图案的曝光点数量占全部曝光点数量的比例; 根据所述数据信息集判断曝光点的所述图案类别,包括以下步骤: 设定预设合格图案及对应的预设尺寸阈值范围,将所述预设尺寸阈值范围与所述目标曝光点的实际尺寸进行对比,以确定所述目标曝光点的所述图案类别;将所述预设合格图案设置为轴对称环状图形,将所述轴对称环状图形的内外环距离差定义为所述预设尺寸阈值范围; 若所述目标曝光点的所述实际尺寸在所述预设尺寸阈值范围内,则所述目标曝光点为合格图案;反之,则所述目标曝光点为不合格图案; 对不合格图案的所述目标曝光点进行判定;若不合格图案的所述目标曝光点的实际尺寸大于所述预设尺寸阈值范围,则判定所述目标曝光点为过曝图案;反之,则判定所述目标曝光点为欠曝图案。
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