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龙图腾网获悉江苏阀邦半导体材料科技有限公司申请的专利一种半导体特气调节模组获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115681820B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211452279.8，技术领域涉及：F17D3/01；该发明授权一种半导体特气调节模组是由王汉清设计研发完成，并于2022-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体特气调节模组在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半导体特气调节模组，包括：底部固定板、阀门，所述底部固定板上固定安装有底座模块组件，底座模块组件上安装有若干个阀门，阀门包含减压阀、进气手动开关阀、逆止阀、出气手动开关阀、流量控制器；底座模块组件包含底座模块一、底座模块二和底座模块三；底座模块一、底座模块二和底座模块三内开设气道；底座模块一和底座模块二内的气道分为独立的两个；底座模块组件内的气孔、气道、气腔以及插接处表面均采用电抛光处理。本发明占用空间少，实现多个阀体的串联，减少气体移动路径，进而减少粉尘污染的可能性，结构更小，气道通过金属对金属密封插接后连通，减少螺纹、焊接的连接方式，进一步减小气体被粉尘污染的可能性。

本发明授权一种半导体特气调节模组在权利要求书中公布了：1.一种半导体特气调节模组，包括：底部固定板1、阀门，所述底部固定板1上固定安装有底座模块组件2，底座模块组件2上安装有若干个阀门，阀门包含减压阀3、进气手动开关阀50、逆止阀51、出气手动开关阀52、流量控制器53； 其特征在于：所述底座模块组件2包含底座模块一4、底座模块二5和底座模块三6，底座模块一4、底座模块二5和底座模块三6内开设气道，并通过金属对金属密封插接后连通，底座模块一4和底座模块二5内的气道分为独立的两个，并通过其上的阀体连通，底座模块组件2内的气孔、气道、气腔以及插接处表面均采用电抛光处理，气道转弯处均采用大弧度折弯； 所述减压阀3包含压力调节盖21、上阀体22、下阀体23、脚座24，所述脚座24与下阀体23一体设计，上阀体22与下阀体23螺纹连接，上阀体22与压力调节盖21转动连接； 所述下阀体23内开设有开放式内腔、进气腔道37和出气腔道38，进气腔道37和出气腔道38均与开放式内腔相通，出气腔道38位于下阀体23的中轴线上，出气腔道38与开放式内腔的连通处为瓶颈状设计，出气腔道38内设有顶针组件，进气腔道37和出气腔道38贯穿脚座24； 所述顶针组件包含顶针36和密封锥39，顶针36中部表面设有螺纹，顶针36滑动套设密封锥39，密封锥39位于顶针36的螺纹下方，密封锥39与出气腔道38的瓶颈契合； 所述上阀体22的开放式内腔内设有膜片组件，膜片组件上方设有弹性压力调节组件，所述顶针组件与膜片组件固定连接，膜片组件与弹性压力调节组件抵连。

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