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龙图腾网获悉上海大族富创得科技有限公司申请的专利一种SMIF盒装载设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115424968B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211238661.9，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种SMIF盒装载设备是由李查德.摩根;黄宽明;周锐;刘进;曾潇凯设计研发完成，并于2022-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种SMIF盒装载设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种SMIF盒装载设备，属于半导体技术领域。针对转移稳定性较差的问题，本发明提供SMIF盒装载设备，包括设备框架，所述设备框架的前方设置有开合装置，所述开合装置用于承载以及开闭SMIF盒，所述设备框架的内部设置有机器人手臂，所述机器人手臂的末端设置有末端执行器，所述机器人手臂用于带动所述末端执行器垂直以及水平移动，以进出所述SMIF盒以及取放晶圆花篮。本发明实现SMIF盒装载，且在有限空间内可实现多层取放晶圆花篮。

本发明授权一种SMIF盒装载设备在权利要求书中公布了：1.一种SMIF盒装载设备，其特征在于，包括设备框架，所述设备框架的前方设置有开合装置，所述开合装置用于承载以及开闭SMIF盒，所述设备框架的内部设置有机器人手臂，所述机器人手臂的末端设置有末端执行器，所述机器人手臂用于带动所述末端执行器垂直以及水平移动，以进出所述SMIF盒以及取放晶圆花篮，所述末端执行器通过基座与所述机器人手臂的上臂连接，所述基座上垂直设置有背板； 所述背板上设置有两夹爪和用于旋转两所述夹爪的旋转驱动机构Ⅱ，两所述夹爪的间距与所述晶圆花篮上的两把手的间距相适配，以插入或拔出所述把手，所述夹爪和所述旋转驱动机构Ⅱ分设于所述背板的两侧； 所述夹爪包括转轴Ⅱ，所述转轴Ⅱ的一端贯穿所述背板与所述旋转驱动机构Ⅱ连接，所述转轴Ⅱ上连接有勾爪，所述转轴Ⅱ在旋转驱动机构Ⅱ的驱动下带动所述勾爪旋转，并插入或拔出所述把手； 所述旋转驱动机构Ⅱ通过四连杆传动组件与所述夹爪连接；所述旋转驱动机构Ⅱ包括直线驱动组件和四连杆传动组件，所述直线驱动组件包括驱动电机Ⅲ，所述驱动电机Ⅲ的驱动轴连接导螺杆Ⅱ，所述末端执行器的背板上沿其高度方向设置有导轨Ⅱ，所述导轨Ⅱ上滑动设置有滑块Ⅱ，所述滑块Ⅱ与所述导螺杆Ⅱ上的螺母连接，所述滑块Ⅱ的两侧对称设置有两个所述四连杆传动组件，随所述滑块Ⅱ的上下移动，两个所述四连杆传动组件同步对称移动，所述四连杆传动组件的尾端与所述转轴Ⅱ连接，以在所述直线驱动组件的驱动下带动所述转轴Ⅱ旋转； 所述背板上设置有固定座，所述转轴Ⅱ的一端与所述旋转驱动机构Ⅱ连接，另一端与所述固定座转动连接。

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