周星工程股份有限公司朴昶均获国家专利权
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龙图腾网获悉周星工程股份有限公司申请的专利基板处理设备及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115362283B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180026038.4，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权基板处理设备及方法是由朴昶均;金容玹;黄喆周设计研发完成，并于2021-03-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理设备及方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种基板处理设备及方法，其可以在薄膜沉积于基板上之后有效地清理其中累积有副产物的腔体。此外，本发明提供了一种基板处理设备及方法，其可以在进行有机金属化学气相沉积之后有效地清理包含累积在腔体内部的金属的副产物。
本发明授权基板处理设备及方法在权利要求书中公布了：1.一种用于处理一基板的一设备，该设备包含： 一腔体； 一基板支撑单元，位于该腔体内部且用以支撑位于该腔体内部的该基板； 一气体散布单元，位于该腔体内部以面对该基板支撑单元并用以朝该基板支撑单元散布一制程气体； 一第一温度控制单元，安装于该气体散布单元的一中央区域中；以及 一第二温度控制单元，安装于该气体散布单元的一边缘区域中， 其中该第一温度控制单元包含： 一流道，用以允许一加热流体或一冷却流体流动于该中央区域内部； 一入口，用以选择性地将该加热流体或该冷却流体供应到该流道中；以及 一出口，用以将该加热流体或该冷却流体从该流道排放出去， 其中该第二温度控制单元包含埋于该边缘区域内部的一电加热线， 其中当增加该气体散布单元的温度时，该第一温度控制单元允许该加热流体流动，且该第二温度控制单元加热该电加热线，而使该第二温度控制单元相较于该中央区域的温度来说以较快的速率增加该边缘区域的温度，以及 当降低该气体散布单元的温度时，该第一温度控制单元允许该冷却流体流动，且该第二温度控制单元停止该电加热线的加热，而使该第一温度控制单元相较于该边缘区域的温度来说以较快的速率降低该中央区域的温度。
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