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龙图腾网获悉广东越海集成技术有限公司申请的专利一种晶圆电镀后处理装置及晶圆电镀后处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115198336B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210628553.6，技术领域涉及：C25D21/08；该发明授权一种晶圆电镀后处理装置及晶圆电镀后处理方法是由卢晶晶设计研发完成，并于2022-06-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆电镀后处理装置及晶圆电镀后处理方法在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆电镀后处理技术领域，尤其涉及一种晶圆电镀后处理装置，其包括清洗槽和喷淋组件。其中，清洗槽的槽底开设有多个鼓泡孔和多个进液孔，鼓泡孔用于鼓泡，进液孔用于进液和排液，载有晶圆和盖板的载具能够垂直插设在清洗槽内，以使晶圆能够全部浸入清洗槽内的清洗液中。喷淋组件包括第一喷淋管和第二喷淋管，第一喷淋管用于朝盖板与载具的装配缝隙喷淋清洗液，第二喷淋管用于朝晶圆喷淋清洗液，第一喷淋管和第二喷淋管的喷淋角度均可调。本发明还提供了一种晶圆电镀后处理方法。上述的晶圆电镀后处理装置使用上述的晶圆电镀后处理方法，即可在保证彻底清除电解液的同时，节省用水量，降低治污成本。

本发明授权一种晶圆电镀后处理装置及晶圆电镀后处理方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆电镀后处理装置，其特征在于，包括： 清洗槽1，所述清洗槽1的槽底开设有多个鼓泡孔11和多个进液孔12，所述鼓泡孔11用于鼓泡，所述进液孔12用于进液和排液，载有晶圆100和盖板200的载具300能够垂直插设在所述清洗槽1内，以使所述晶圆100能够全部浸入所述清洗槽1内的清洗液400中； 喷淋组件，所述喷淋组件包括第一喷淋管2和第二喷淋管3，所述第一喷淋管2用于朝所述盖板200与所述载具300的装配缝隙喷淋所述清洗液400，所述第二喷淋管3用于朝所述晶圆100喷淋所述清洗液400，所述第一喷淋管2和所述第二喷淋管3的喷淋角度均可调； 所述第一喷淋管2上沿自身长度方向开设有多个第一喷淋孔21，所述第一喷淋孔21沿自身轴向朝管外直径逐渐增大，以使多个所述第一喷淋孔21形成第一喷淋区域500，覆盖所述盖板200与所述载具300的装配间隙处； 所述第二喷淋管3上沿自身长度方向开设有多个第二喷淋孔31，所述第二喷淋孔31沿自身轴向朝管外直径逐渐增大，以使多个所述第二喷淋孔31形成第二喷淋区域600，完全覆盖所述晶圆100。

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