玛特森技术公司;北京屹唐半导体科技股份有限公司曼努埃尔·森获国家专利权
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龙图腾网获悉玛特森技术公司;北京屹唐半导体科技股份有限公司申请的专利用于热处理系统的支撑结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115176338B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180017407.3，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权用于热处理系统的支撑结构是由曼努埃尔·森;罗尔夫·布雷门斯多夫;斯克·哈姆;亚历克斯·旺斯德勒设计研发完成，并于2021-02-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于热处理系统的支撑结构在说明书摘要公布了：提供了用于热处理系统的支撑板和支撑结构以加热工件。在一个示例中，提供了一种热处理装置，包括：多个热源、可旋转支撑板以及支撑结构，该支撑结构在可旋转支撑板的径向方向上的柔性大于在可旋转支撑板的方位方向上的柔性。还提供了用于在热处理装置中支撑工件的支撑板。支撑板可以包括限定径向方向和方位方向的基座，以及至少一个从基座延伸的支撑结构，该支撑结构在基座的径向方向上的柔性大于在基座的方位方向上的柔性。
本发明授权用于热处理系统的支撑结构在权利要求书中公布了：1.一种热处理装置，包括： 多个热源，被配置为加热工件； 可旋转支撑板，能够操作以在热处理期间支撑所述工件，所述可旋转支撑板限定径向方向和方位方向，所述可旋转支撑板包括一个或多个开口，所述一个或多个开口在基板上定向，使得支撑结构在所述径向方向上的倾斜动量大于在所述方位方向上的倾斜动量；以及 所述支撑结构，从所述可旋转支撑板延伸，所述支撑结构被配置为在热处理期间接触所述工件，所述支撑结构包括第一端和第二端，其中所述支撑结构的所述第一端被布置为在热处理期间支撑所述工件，其中，所述支撑结构在所述可旋转支撑板的所述径向方向上的柔性大于在所述可旋转支撑板的所述方位方向上的柔性； 所述支撑结构包括所述基板，所述一个或多个开口被配置为接合所述基板以将所述支撑结构固定到所述可旋转支撑板。
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