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龙图腾网获悉江苏亚电科技有限公司申请的专利一种晶圆水平传输机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115148649B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210719608.4，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种晶圆水平传输机构是由钱诚;李刚;周兴江设计研发完成，并于2022-06-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆水平传输机构在说明书摘要公布了：本申请涉及一种晶圆水平传输机构，晶圆支撑座在上料段和下料段时由水平调整机构调整为水平，以方便机械手直上直下的抓取，在传输段进行传输时，晶圆支撑座的水平部分具有一定的倾斜，可以使晶圆在晶圆支撑座上向一个方向倾斜，防止因为晶圆左右倾斜的状态不同而导致晶圆磕碰，降低晶圆的划伤风险。

本发明授权一种晶圆水平传输机构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆水平传输机构，其特征在于，包括： 水平安装座1； 水平滑轨2，设置在水平安装座1上，位于水平安装座1顶面，从其传输方向依次分为上料段传输段下料段； 晶圆支撑座3，用于承接晶圆，设置于水平滑轨2上，具有竖直部分31以及通过转轴33转动地连接在竖直部分31上的水平部分32，所述水平部分32在容纳晶圆后能够使水平部分32相对于水平面形成一定的夹角，水平部分32上具有成排布置的弧形的晶圆容纳槽； 驱动件，用于驱动晶圆支撑座3在水平滑轨2上移动； 还包括水平调整机构，包括，设置于晶圆支撑座3上的水平调整轮321，与上料段和下料段对应的外部框架上固定设置的水平调整块322，所述水平调整块322具有倾斜的底面，晶圆支撑座3从传输段移动到上料段或者从传输段移动到下料段的过程中水平调整轮321在水平调整块322的底面上滑动，从而将晶圆支撑座3的水平部分32调整为水平； 对应上料段的水平调整块322的底面由水平面3221、向上倾斜面3222、向下倾斜面3223、末端倾斜面3224构成，水平调整轮321行走在水平面3221时，晶圆支撑座3的水平部分呈水平布置，水平调整轮321行走在向上倾斜面3222时，晶圆支撑座3水平部分32的远离水平调整轮321的一端向下运动，水平调整轮321行走在向下倾斜面3223时，晶圆支撑座3水平部分32的远离水平调整轮321的一端向上运动，水平调整轮321行走在末端倾斜面3224时，晶圆支撑座3水平部分32的远离水平调整轮321的一端向下运动，离开末端倾斜面3224时，晶圆支撑座3水平部分32与水平面形成所需的特定夹角； 水平安装座1上还设置有用于感应水平部分32位置的传感器323。

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