细美事有限公司徐柱贤获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利用于拾取半导体器件的装置及包括该装置的测试处理器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114695237B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111635065.X,技术领域涉及:H01L21/683;该发明授权用于拾取半导体器件的装置及包括该装置的测试处理器是由徐柱贤;金丙根设计研发完成,并于2021-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于拾取半导体器件的装置及包括该装置的测试处理器在说明书摘要公布了:公开了一种用于拾取半导体器件的装置及包括该装置的测试处理器。该半导体器件拾取装置包括用于真空吸附半导体器件的真空拾取器、及用于使真空拾取器在垂直方向上移动的垂直驱动单元。该垂直驱动单元包括具有内部空间的缸体、联接到缸体的下部的下盖、设置在缸体内部空间中的活塞、及从活塞经过下盖向下延伸且联接到真空拾取器的活塞杆,并且以预定压力在下盖与活塞杆之间提供空气以防止杂质被导入缸体的内部空间。
本发明授权用于拾取半导体器件的装置及包括该装置的测试处理器在权利要求书中公布了:1.一种用于拾取半导体器件的装置,所述装置包括: 用于真空吸附半导体器件的真空拾取器;及 用于使所述真空拾取器在垂直方向上移动的垂直驱动单元, 其中所述垂直驱动单元包括具有内部空间的缸体、联接到所述缸体的下部的下盖、设置在所述缸体的所述内部空间中的活塞、及从所述活塞经过所述下盖向下延伸且联接到所述真空拾取器的活塞杆,并且 以预定压力在所述下盖与所述活塞杆之间提供空气,以防止杂质被导入所述缸体的所述内部空间, 其中所述缸体的所述内部空间包括位于所述活塞下方的下内部空间及位于所述活塞上方的上内部空间,并且 其中用于将空气供给至所述下内部空间中的第一空气通道及用于将空气供给至所述上内部空间中的第二空气通道是经过所述缸体而形成, 其中用于在所述下盖与所述活塞杆之间供给空气的第三空气通道经过所述下盖和所述缸体连接到所述第一空气通道, 其中位于所述第三空气通道相对侧的、用于在所述下盖和所述活塞杆之间供给空气的第四空气通道经过所述下盖和所述缸体连接到所述第二空气通道。
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