格科微电子(上海)有限公司李怀兆获国家专利权
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龙图腾网获悉格科微电子(上海)有限公司申请的专利集成式容栅传感器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114551440B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011346777.5,技术领域涉及:H10D84/00;该发明授权集成式容栅传感器是由李怀兆;王茂林设计研发完成,并于2020-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本集成式容栅传感器在说明书摘要公布了:本发明提供了一种集成式容栅传感器,包括:容栅结构与测量电路;所述测量电路形成在芯片的第一面;所述容栅结构形成于所述芯片的第二面,所述容栅结构与所述测量电路电性连接。本发明所提供的集成式容栅传感器中发射极板的最小栅宽由集成电路工艺决定,可以实现较高的高精度。
本发明授权集成式容栅传感器在权利要求书中公布了:1.一种集成式容栅传感器,其特征在于, 包括: 容栅结构与测量电路; 所述测量电路形成在芯片的第一面; 所述容栅结构形成于所述芯片的第二面,所述容栅结构与所述测量电路电性连接; 所述集成式容栅传感器采用集成电路工艺实现; 所述测量电路包括: 输入信号产生单元,适于提供N路具有固定相位差的输入信号给所述容栅结构; 基准信号产生单元,适于提供基准信号给所述鉴相计数器; 鉴相计数器,适于比较所述基准信号和所述容栅结构经放大整形后的输出信号,输出量化后的相位差信号; 数字逻辑运算及信号输出单元,适于接受所述鉴相计数器量化后的相位差信号,并通过数字计算与位移值一一对应,输出所述容栅传感器的测量值。
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