东京毅力科创株式会社久田耕祐获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利基板加热装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112750724B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011143931.9，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板加热装置是由久田耕祐;大谷响设计研发完成，并于2020-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板加热装置在说明书摘要公布了：本发明涉及基板加热装置。提高在基板加热装置加热了基板时形成在基板上的膜的膜厚的均匀性。基板加热装置用于在壳体内加热基板，在所述壳体内并列设置有载置基板并对其进行加热的加热板和载置基板并对其进行冷却的冷却板，该基板加热装置具有：气体喷嘴，其沿着所述并列设置的方向，在所述加热板的上方朝向所述壳体的靠所述加热板侧的一端部形成单向气流；以及闸，其能够在所述壳体内上下移动，并对至少所述加热板和所述冷却板之间的所述基板的输送空间进行分隔，所述气体喷嘴的喷出部配置在所述闸和所述加热板之间。
本发明授权基板加热装置在权利要求书中公布了：1.一种基板加热装置，其用于在壳体内加热基板，其中， 在所述壳体内并列设置有载置基板并对其进行加热的加热板和载置基板并对其进行冷却的冷却板， 该基板加热装置具有： 气体喷嘴，其沿着所述并列设置的方向，在所述加热板的上方朝向所述壳体的靠所述加热板侧的一端部形成单向气流；以及 闸，其能够在所述壳体内上下移动，并对至少所述加热板和所述冷却板之间的所述基板的输送空间进行分隔， 所述气体喷嘴的喷出部配置在所述闸和所述加热板之间， 所述气体喷嘴和所述闸在俯视时至少一部分重叠， 与所述闸的顶端部靠近并相对的相对部的顶端部具有在所述闸关闭时能够容纳所述闸的顶端部的凹部， 在所述闸关闭时，所述闸的顶端部与所述相对部的顶端部之间形成空隙。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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