株式会社斯库林集团有泽洋获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利曝光装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112526827B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010960098.0，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权曝光装置是由有泽洋;浅井正也;春本将彦;田中裕二;毛利知佐世;本野智大;宫本周治设计研发完成，并于2020-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本曝光装置在说明书摘要公布了：曝光装置具有圆筒形状的周壁部件。周壁部件形成能够收容衬底的处理空间并且具有上部开口及下部开口。而且，在周壁部件的上部，以盖住上部开口的方式设置着光出射部。在周壁部件的下方设置着下盖部件，所述下盖部件设置成能够沿上下方向移动且能够封闭及打开下部开口。以在处理空间内收容有衬底且下部开口被下盖部件封闭的状态，用惰性气体置换处理空间内的环境气体。该状态下，真空紫外线从光出射部出射到衬底，衬底被曝光。
本发明授权曝光装置在权利要求书中公布了：1.一种曝光装置，对衬底进行曝光处理，且包括： 周壁部件，形成能够收容衬底的处理空间并且具有上部开口； 光出射部，盖住所述上部开口且具有能够出射真空紫外线的出射面；及 衬底支撑部，在由所述光出射部进行的曝光时，在所述光出射部的下方的所述处理空间内支撑衬底； 所述周壁部件具有将惰性气体从下方引导到上方的流路、及使所述流路与所述处理空间连通的开口部， 所述开口部具有彼此对向的第1侧面及第2侧面， 所述第1侧面与所述第2侧面之间的距离从所述流路的下游端部朝向所述处理空间逐渐增加， 设置着供从所述流路的所述下游端部流出到所述开口部的惰性气体碰撞的碰撞面，所述碰撞面位于比曝光时由所述衬底支撑部支撑的衬底更靠上方处。
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