ASM IP私人控股有限公司崎口博夫获国家专利权
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龙图腾网获悉ASM IP私人控股有限公司申请的专利自由基辅助点火等离子体系统和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112242300B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010667831.X，技术领域涉及：H01L21/3065；该发明授权自由基辅助点火等离子体系统和方法是由崎口博夫设计研发完成，并于2020-07-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本自由基辅助点火等离子体系统和方法在说明书摘要公布了：公开了等离子体辅助方法和设备。所述方法和设备可用于将在远程等离子体单元中形成的活化物种提供到反应室，以有助于在联接到所述远程等离子体单元的反应室内点燃等离子体。
本发明授权自由基辅助点火等离子体系统和方法在权利要求书中公布了：1.一种在衬底上形成图案化特征的方法，所述方法包括以下步骤： 在反应室内提供所述衬底； 向远程等离子体单元提供惰性气体； 向反应室提供反应气体； 通过在所述远程等离子体单元内产生远程等离子体，由惰性气体形成第一活化物种； 将所述第一活化物种提供到所述反应室，持续第一时间间隔；以及 使用在反应室内形成的直接等离子体，在所述反应室内由反应气体形成第二活化物种，持续第二时间间隔， 其中所述第一时间间隔和所述第二时间间隔重叠；且 其中所述反应气体不被供给到远程等离子体单元， 其中所述衬底包含特征，所述方法还包括使用所述第二活化物种修整所述特征的步骤。
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