台州市博信电子有限公司周晋羽获国家专利权
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龙图腾网获悉台州市博信电子有限公司申请的专利一种晶棒定角粘接机及其定角粘接方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111645212B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010602894.7,技术领域涉及:B28D5/00;该发明授权一种晶棒定角粘接机及其定角粘接方法是由周晋羽;李聪聪;周巍设计研发完成,并于2020-06-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶棒定角粘接机及其定角粘接方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种晶棒定角粘接机及其定角粘接方法,属于半导体设备技术领域。它解决了现有晶棒与料板的定角和粘接精度不高的问题。本晶棒定角粘接机,包括工作台、X射线光路的发射与接收机构和扫描机架,扫描机架上设有矫正基准立板,矫正基准立板上设有柔性吸盘,扫描机架上设有压块。本方法,包括以下步骤:A、将料板固定在扫描机架上并将晶棒放置在料板上;B、柔性吸盘将晶棒吸附贴靠在矫正基准立板上,压块将晶棒压紧,旋转扫描机架,根据对X射线光路的发射与接收机构接收到的信号进行处理,并与预设值进行比对得出补偿角度,压块上移,矫正基准立板转动并带动晶棒贴着料板上表面旋转上述补偿角度完成定角;用胶水将晶棒与料板粘接。
本发明授权一种晶棒定角粘接机及其定角粘接方法在权利要求书中公布了:1.一种晶棒定角粘接机,包括工作台11、X射线光路的发射与接收机构和用于使料板10呈水平放置并定位的扫描机架2,所述扫描机架2设置在所述工作台11上,其特征在于,所述扫描机架2能够相对工作台11转动,所述扫描机架2上设有矫正基准立板5且所述矫正基准立板5能够相对扫描机架2转动,所述矫正基准立板5上设有柔性吸盘7且柔性吸盘7能够将放置在料板10上的晶棒吸附并使晶棒贴靠在矫正基准立板5的垂直基准面上,所述扫描机架2上设有压块9b且压块9b能够将晶棒压紧在料板10上;矫正基准立板5上的位移传感器5e检测晶棒是否吸附到位,检测吸附到位后,竖向气缸9驱动压块9b下压将晶棒压紧贴靠在料板10的上表面;然后柔性吸盘7断气后再重新运行产生真空吸力将晶棒吸附,随后压块9b上移;柔性吸盘7持续保持真空吸附状态,压块9b重新下压将晶棒压紧在料板10上,如此重复多次。
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