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龙图腾网获悉深圳市艾特自动化有限公司申请的专利一种硅片自动检测机构及检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111293051B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010104690.0，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种硅片自动检测机构及检测方法是由张彪;黎俊龙设计研发完成，并于2020-02-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种硅片自动检测机构及检测方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种硅片自动检测机构及检测方法，该硅片自动检测机构包括：输送机构、归整机构、监测拍照机构、图像分析装置、六轴机械手以及若干硅片收集装置；输送机构一端与烧结炉主体机相衔接，另一端设置有若干硅片收集装置，归整机构设于输送机构两侧，监测拍照机构设于输送机构上方，用于拍摄硅片的外观；六轴机械手设于输送机构一侧，用于将输送机构上的硅片分别抓放至相应的硅片收集装置中；图像分析装置分别与检测拍照机构、六轴机械手电性连接。本发明采用全自动化生产，依靠红外短波摄像机以及光电传感器相结合的检测方案，不仅可以避免人工检测长时间工作带来的视觉疲劳和误差，还可以大大提高生产效率，减少人工成本。

本发明授权一种硅片自动检测机构及检测方法在权利要求书中公布了：1.一种硅片自动检测机构，其特征在于，包括：输送机构、归整机构、监测拍照机构、图像分析装置、六轴机械手以及若干硅片收集装置；所述输送机构一端与烧结炉主体机相衔接，另一端设置有所述若干硅片收集装置，所述归整机构设于所述输送机构两侧，所述监测拍照机构设于所述输送机构上方，用于拍摄硅片的外观；所述六轴机械手设于所述输送机构一侧，用于将输送机构上的硅片分别抓放至相应的硅片收集装置中；所述图像分析装置分别与所述监测拍照机构、所述六轴机械手电性连接； 所述归整机构包括：第一处理单元、硅片检测器件、左侧归整单元及右侧归整单元，所述左侧归整单元与右侧归整单元均分别包括：第一驱动装置以及设于所述第一驱动装置输出端的执行元件，所述第一处理单元分别与所述硅片检测器件、第一驱动装置电性连接； 所述第一驱动装置为一气缸，所述硅片检测器件为一对光电传感器，其包括一发射端与接收端，所述发射端设于所述左侧归整单元上，所述接收端设于所述右侧归整单元，所述执行元件为一长条状的板或导条； 所述输送机构包括两条采用铁丝网的传输链，所述归整机构的数量为2，每一所述归整机构对应一传输链设置，所述左侧归整单元设于所述传输链的一侧，所述右侧归整单元设于所述传输链的另一侧； 所述监测拍照机构包括：安装框架、安装于所述安装框架上的定位传感器组件、安装于所述安装框架上的光源装置以及安装于所述安装框架上的拍照装置，所述拍照装置分别与所述图像分析装置及定位传感器组件电性连接； 所述拍照装置为红外短波摄像机，其数量为2，每一所述拍照装置分别对应一传输链设置；所述定位传感器组件的数量为2，每一所述定位传感器组件包括四个用于检测硅片四边或四角的光电传感器。

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