上海玄亨科技股份有限公司蒲红旭获国家专利权
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龙图腾网获悉上海玄亨科技股份有限公司申请的专利一种静电卡盘分离装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223728759U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520274636.9，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种静电卡盘分离装置是由蒲红旭设计研发完成，并于2025-02-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种静电卡盘分离装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种静电卡盘分离装置，用于分离静电卡盘的上盘和底座，包括：上基板，所述上基板上设有加热组件和定位组件，所述定位组件用于将所述上盘固定在上基板的下表面，并使所述底座与所述下基板相对；所述加热组件用于加热所述上基板，从而分离所述上盘和底座；下基板，所述下基板用于承载分离后掉落的所述底座；其中，所述上基板和下基板相对设置；本实用新型的静电卡盘分离装置，能够在不损伤静电卡盘的上盘和底座的基础上分离二者，操作简单。
本实用新型一种静电卡盘分离装置在权利要求书中公布了：1.一种静电卡盘分离装置，用于分离静电卡盘的上盘和底座，其特征在于，所述静电卡盘分离装置包括相对设置的上基板和下基板； 所述上基板上设有加热组件和定位组件，所述定位组件用于将所述上盘固定在上基板的下表面，并使所述底座与所述下基板相对；所述加热组件用于加热所述上基板，从而分离所述上盘和底座； 所述下基板用于承载分离后掉落的所述底座。
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