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北京创思工贸有限公司李文强获国家专利权

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龙图腾网获悉北京创思工贸有限公司申请的专利一种晶圆吸附头获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223728756U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423270365.4,技术领域涉及:H01L21/683;该实用新型一种晶圆吸附头是由李文强;高潘设计研发完成,并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆吸附头在说明书摘要公布了:本实用新型涉及晶圆加工技术领域,提供一种晶圆吸附头,包括壳罩组件、光学零件和接头组件;壳罩组件具有容纳腔及连通容纳腔的开口、安装孔及罩口,开口与罩口沿光学零件的光轴方向相对设置,安装孔设于壳罩组件的周壁;光学零件可拆卸地设于容纳腔中;光学零件内设有吸气通道,吸气通道的第一端形成于光学零件的第一端,吸气通道的第二端形成于光学零件的侧面;接头组件包括相连通的第一接头和第二接头,第一接头粘接于吸气通道的第二端,第二接头与第一接头可拆卸连接,并且粘接于安装孔中。本实用新型的晶圆吸附头,能在装配过程中尽可能地减小光学零件出现的面形变化,便于晶圆吸附头对晶圆进行准确定位,实现精确地对晶圆进行移位控制。

本实用新型一种晶圆吸附头在权利要求书中公布了:1.一种晶圆吸附头,其特征在于,包括:壳罩组件、光学零件和接头组件; 所述壳罩组件具有容纳腔及连通所述容纳腔的开口、安装孔及罩口,所述开口与所述罩口沿所述光学零件的光轴方向相对设置,所述安装孔设于所述壳罩组件的周壁; 所述光学零件可拆卸地设于所述容纳腔中,所述光学零件的第一端与所述开口相对设置,所述光学零件的第二端与所述罩口相对设置;所述光学零件内设有吸气通道,所述吸气通道的第一端形成于所述光学零件的第一端,所述吸气通道的第二端形成于所述光学零件的侧面; 所述接头组件包括相连通的第一接头和第二接头,所述第一接头粘接于所述吸气通道的第二端,所述第二接头与所述第一接头可拆卸连接,并且粘接于所述安装孔中。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京创思工贸有限公司,其通讯地址为:101113 北京市通州区广源东街2号院1、2号楼;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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