宇弘研科技(苏州)有限公司周修斌获国家专利权
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龙图腾网获悉宇弘研科技(苏州)有限公司申请的专利一种涂胶显影机用晶圆吸盘结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223728755U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423183560.3，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种涂胶显影机用晶圆吸盘结构是由周修斌;安礼余设计研发完成，并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种涂胶显影机用晶圆吸盘结构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种涂胶显影机用晶圆吸盘结构，包括安装座，所述安装座顶部设置有晶圆吸盘，所述晶圆吸盘底端固定连接有对接套，所述对接套底端与安装座内部插接，所述安装座外表面开设有调节槽。本实用新型通过向上推动调节环带动固定销在调节通孔内移动，在固定销被抵挡后转动调节环，使固定销在调节通孔和固定槽内部移动，在固定销再次被抵挡后松开调节环，抵压环在抵压弹簧的作用下推动调节环复位，此时固定销进入到固定槽内的连通处，此时便可直接将晶圆吸盘从安装座内部取下，实现对晶圆吸盘的快速拆卸更换，结构简单，拆卸方便，提高了晶圆吸盘的更换效率。
本实用新型一种涂胶显影机用晶圆吸盘结构在权利要求书中公布了：1.一种涂胶显影机用晶圆吸盘结构，包括安装座1，其特征在于：所述安装座1顶部设置有晶圆吸盘2，所述晶圆吸盘2底端固定连接有对接套3，所述对接套3底端与安装座1内部插接，所述安装座1外表面开设有调节槽4，所述调节槽4内表面贯穿开设有四个调节通孔5，所述调节槽4内表面转动连接有调节环6，所述调节环6内表面固定连接有四个固定销7，四个所述固定销7外表面分别与四个所述调节通孔5内部滑动插接，所述对接套3外表面且位于四个所述调节通孔5位置处开设有固定槽8，四个所述固定销7一端分别与四个所述固定槽8内表面滑动插接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人宇弘研科技(苏州)有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市工业园区娄葑北区创投工业坊10号厂房一楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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