晟盈半导体设备(江苏)有限公司徐传勇获国家专利权
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龙图腾网获悉晟盈半导体设备(江苏)有限公司申请的专利一种晶圆自动对中装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223728747U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423107121.4，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型一种晶圆自动对中装置是由徐传勇;孙文杰设计研发完成，并于2024-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆自动对中装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆自动对中装置，其包括载盘、圆心检测部件以及驱动部件，其中晶圆平放在载盘上，且晶圆的边缘向外冒出载盘设置；圆心检测单元包括用于检测晶圆边缘轮廓的检测器、用于根据晶圆边缘轮廓确定晶圆中心位置的处理器；驱动部件用于驱动载盘并带动晶圆调整自身中心位置。本实用新型一方面通过晶圆边缘轮廓检测确定晶圆中心位置，并通过载盘的运动调整晶圆中心位置，实现晶圆基于无外力下实现自动对中，大大降低晶圆形变破损的概率，提高晶圆对中精度；另一方面结构简单、可靠，操作方便。
本实用新型一种晶圆自动对中装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆自动对中装置，其特征在于，其包括载盘、圆心检测部件以及驱动部件，其中所述晶圆平放在所述载盘上，且所述晶圆的边缘向外冒出所述载盘设置；所述圆心检测部件包括用于检测晶圆边缘轮廓的检测器、用于根据晶圆边缘轮廓确定晶圆中心位置的处理器；所述驱动部件用于驱动所述载盘并带动所述晶圆调整自身中心位置。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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