苏州芯钛半导体科技有限公司吴明芳获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州芯钛半导体科技有限公司申请的专利清洗翻转设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223728744U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423192073.3，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型清洗翻转设备是由吴明芳;苏勇信;赖建豪;萧旻浩;张亮设计研发完成，并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本清洗翻转设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆加工技术领域，涉及一种清洗翻转设备。本实用新型的皮带线将晶圆产品传输至定位治具上，治具框架对晶圆产品进行定位后，旋转机构带动定位治具以及其上的晶圆产品进行转动，可以改变晶圆产品的喷淋清洗角度，能够增大清洗面，提高清洗效率，能够快速清洗小面积不规则区域内的杂质，治具框架穿设在避让开槽上，使其可在线对晶圆产品的表面进行同步清洗，极大地提高了清洗效率。
本实用新型清洗翻转设备在权利要求书中公布了：1.一种清洗翻转设备，其特征在于，包括： 输送轨道，包括输送架，所述输送架两侧设置有皮带线，所述皮带线用于对晶圆产品进行传输； 定位治具，设置于输送架上，所述定位治具包括治具框架，所述治具框架上设置有用于对晶圆产品定位的定位工位； 旋转机构，与所述定位治具驱动连接，所述旋转机构用于带动所述定位治具转动； 其中，所述输送架上设置有与所述治具框架相匹配的避让开槽，所述治具框架穿设在所述避让开槽上。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州芯钛半导体科技有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市吴中区甪直镇张庆街1号11幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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