河北光森电子科技有限公司高伦获国家专利权
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龙图腾网获悉河北光森电子科技有限公司申请的专利一种晶片刻蚀底盘调节机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223728743U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422699463.3，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种晶片刻蚀底盘调节机构是由高伦;李宏业;王树华设计研发完成，并于2024-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶片刻蚀底盘调节机构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶片刻蚀底盘调节机构，涉及晶片刻蚀技术领域，包括底座，底座中部设有卡槽，底座的左右两侧分别设有输入传送带与输出传送带，底座位于卡槽的前后两侧固定设有相对称的伸缩腔，伸缩腔通过滑动机构连接有固定夹，两个固定夹设有斜夹杆，斜夹杆前端形成弯折构成推挤杆，底座左右两侧设有贯通道，卡槽与输入传送带、输出传送带、贯通道的高度相平齐，底座位于输入传送带一侧固定设有滑轨，滑轨上通过滑动机构设有推板，推板下端与输入传送带平齐，且两端固定设有两个相对称的夹块。本实用新型结构简单，可以对晶圆自动投放到刻蚀处，并在刻蚀处将晶圆固定，固定机构可以调节位置，适应不同大小的晶片，实用性强，适合推广。
本实用新型一种晶片刻蚀底盘调节机构在权利要求书中公布了：1.一种晶片刻蚀底盘调节机构，包括底座1，其特征在于，所述底座1中部设有卡槽2，所述底座1的左右两侧分别设有输入传送带3与输出传送带4，所述底座1位于卡槽2的前后两侧固定设有相对称的伸缩腔7，所述伸缩腔7通过滑动机构连接有固定夹6，两个所述固定夹6设有向外侧倾斜延伸的斜夹杆9，所述斜夹杆9前端形成弯折构成推挤杆10； 所述底座1位于卡槽2左右两侧设有贯通道5，所述卡槽2与输入传送带3、输出传送带4、贯通道5的高度相平齐，所述底座1位于输入传送带3一侧固定设有向外侧延伸的滑轨12，所述滑轨12上通过滑动机构设有推板16，所述推板16下端与输入传送带3平齐，且两端固定设有两个相对称的夹块17。
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