蒙锐(上海)光电科技有限公司高璐获国家专利权
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龙图腾网获悉蒙锐(上海)光电科技有限公司申请的专利一种晶圆托盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223728738U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422992055.7，技术领域涉及：H01L21/673；该实用新型一种晶圆托盘是由高璐;张汇东;张九福;张细香设计研发完成，并于2024-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆托盘在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆托盘，包括托盘本体，所述托盘本体上还设有多个矩阵排布的放置槽，所述托盘本体位于放置槽两侧均开设有腔体，所述腔体内设有定位块，所述定位块靠近放置槽一侧贯彻腔体侧壁延伸至放置槽内部，所述腔体上方中部开设有通槽，所述定位块位于腔体内一端上方与推块固定连接，所述推块上方贯穿通槽延伸至托盘本体上方，所述定位块两侧均通过弹簧与腔体内壁固定连接，所述定位块位于远离弹簧一侧下端开设有卡槽。该种圆晶托盘结构简单，操作方便，托盘对圆晶定位稳定性好，可有效的对圆晶进行防护，有效避免了圆晶移位、脱落的现象发生，提高了托盘使用的便捷性。
本实用新型一种晶圆托盘在权利要求书中公布了：1.一种晶圆托盘，包括托盘本体1，其特征在于，所述托盘本体1上还设有多个矩阵排布的放置槽2，所述托盘本体1位于放置槽2两侧均开设有腔体3，所述腔体3内设有定位块4，所述定位块4靠近放置槽2一侧贯彻腔体3侧壁延伸至放置槽2内部，所述腔体3上方中部开设有通槽5，所述定位块4位于腔体3内一端上方与推块6固定连接，所述推块6上方贯穿通槽5延伸至托盘本体1上方，所述定位块4两侧均通过弹簧7与腔体3内壁固定连接，所述定位块4位于远离弹簧7一侧下端开设有卡槽8。
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