江苏昕感科技有限责任公司裴少帅获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏昕感科技有限责任公司申请的专利一种具有RFID功能的减薄设备载台结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223728734U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520017898.7，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种具有RFID功能的减薄设备载台结构是由裴少帅;李亚设计研发完成，并于2025-01-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有RFID功能的减薄设备载台结构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，尤其是一种具有RFID功能的减薄设备载台结构，包括：安装有晶圆盒的载台；在所述载台的端面上具有一容纳位，所述容纳位中通过卡接组件连接有RFID读取器；所述载台的端面上还设置有束线结构，所述束线结构用于对所述RFID读取器的连接线进行导向约束；本实用新型中通过采用在载台上集成一RFID读取器，在每个晶圆盒的底部安装含有信息的标签，当晶圆盒被移载到载台上时，可通过RFID读取器对标签的信息进行读取，以获取当前晶圆盒内部的晶圆信息，如此避免产品站点错误，避免加工程序错误，通过将RFID读取器的控制器连接系统，实现实时追踪产品的位置和加工信息，以便于对减薄设备做出正确的生产指令。
本实用新型一种具有RFID功能的减薄设备载台结构在权利要求书中公布了：1.一种具有RFID功能的减薄设备载台结构，其特征在于，包括： 安装有晶圆盒1的载台2； 在所述载台2的端面上具有一容纳位21，所述容纳位21中通过卡接组件3连接有RFID读取器4； 所述载台2的端面上还设置有束线结构5，所述束线结构5用于对所述RFID读取器4的连接线进行导向约束； 其中所述晶圆盒1的底部安装有标签11，所述RFID读取器4与所述标签11信号连接。
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