上海复驰信息科技有限公司沈茂田获国家专利权
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龙图腾网获悉上海复驰信息科技有限公司申请的专利一种光伏硅片表面蚀刻设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223728732U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423283537.1，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种光伏硅片表面蚀刻设备是由沈茂田;刘伟;杨杰设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光伏硅片表面蚀刻设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及光伏硅片加工技术领域，且公开了一种光伏硅片表面蚀刻设备，包括蚀刻池，所述蚀刻池的一侧焊接有支架，所述支架的顶部转动设有支柱，所述支架的底部设有驱动支柱旋转的驱动组件，所述支柱的顶端焊接有支撑臂，所述支撑臂的一侧安装有两个气缸，所述气缸的伸缩杆固定连接有支撑板，所述支撑板的底端滑动连接有两个支座；通过将硅片放置在两个支座之间的挡杆上，挡杆通过限位槽能够对多个硅片限位，可防止硅片掉落，同时能够保持硅片之间的距离，可防止相邻的硅片之间产生接触，便于同时蚀刻多个硅片，提高了加工效率，通过同步调节组件能够居中调节两个支座之间的距离，可对不同尺寸的硅片定位。
本实用新型一种光伏硅片表面蚀刻设备在权利要求书中公布了：1.一种光伏硅片表面蚀刻设备，包括蚀刻池1，其特征在于：所述蚀刻池1的一侧焊接有支架2，所述支架2的顶部转动设有支柱4，所述支架2的底部设有用于驱动所述支柱4转动的驱动组件5，所述支柱4的顶端焊接有支撑臂6，所述支撑臂6的一侧安装有两个气缸7，所述气缸7的伸缩杆固定连接有支撑板8，所述支撑板8的底端滑动连接有两个支座9，所述支座9的顶部和底部均固定设有挡杆10，每个所述挡杆10的表面开设有限位槽11，处于同一竖直面的多个所述限位槽11之间形成夹持光伏硅片的夹持空间，所述支撑板8底端的两侧均设有支撑组件12，所述支撑板8底端的中部设有同步调节组件13。
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