山东华楷微电子装备有限公司张雪奎获国家专利权
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龙图腾网获悉山东华楷微电子装备有限公司申请的专利一种定位硅片载片台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223728730U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423133788.1，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种定位硅片载片台是由张雪奎;刘增增;张少帆;徐金鑫;梁志鹏设计研发完成，并于2024-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种定位硅片载片台在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种定位硅片载片台，包括安装底板，所述安装底板上竖直安装有固定框架，所述固定框架上升降滑动安装有花篮托板，所述花篮托板支撑花篮，所述安装底板上设有升降滑动花篮托板的升降调节装置，所述固定框架内设有信号阻挡板，所述信号阻挡板上均匀间隔设置有若干个缺口，所述花篮托板上设有在信号阻挡板上滑动的滑动传感器，所述缺口与花篮上的硅片槽一一对应，所述固定框架上安装有承载板，所述承载板上设有感应硅片底部的固定传感器；该载片台能准确检测花篮内的硅片槽上是否均放置有硅片，避免机械手进行无效夹取，提高效率。
本实用新型一种定位硅片载片台在权利要求书中公布了：1.一种定位硅片载片台，包括安装底板，其特征在于：所述安装底板上竖直安装有固定框架，所述固定框架上升降滑动安装有花篮托板，所述花篮托板支撑花篮，所述安装底板上设有升降滑动花篮托板的升降调节装置，所述固定框架内设有信号阻挡板，所述信号阻挡板上均匀间隔设置有若干个缺口，所述花篮托板上设有在信号阻挡板上滑动的滑动传感器，所述缺口与花篮上的硅片槽一一对应，所述固定框架上安装有承载板，所述承载板上设有感应硅片底部的固定传感器。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人山东华楷微电子装备有限公司，其通讯地址为：276800 山东省日照市日照高新区高新六路17号日照智慧微电产业园(高新六路与艳阳路交汇处)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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