鸿舸半导体设备(上海)有限公司杨亚辉获国家专利权
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龙图腾网获悉鸿舸半导体设备(上海)有限公司申请的专利一种用于半导体工艺的供液设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223728726U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422958314.4，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种用于半导体工艺的供液设备是由杨亚辉;于锋;田文龙;刘鹏;常军设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于半导体工艺的供液设备在说明书摘要公布了：一种用于半导体工艺的供液设备，包括箱体和衬套；衬套包括第一隔板和第二隔板；第一隔板沿水平方向设置在箱体内，第二隔板沿竖直方向设置在箱体内；每一个下部空腔内部均设置有药液输送装置和药筒，药液输送装置伸入对应的药筒的内部且底部浸入药液内；上部空腔内部均设置有泵体；第一隔板上设置有与药液输送装置数量相同的接头，接头的顶部和底端分别伸入上部空腔和对应的下部空腔，且通过接头分别连接对应的药液输送装置和泵体。通过衬套将箱体内部分隔为多个空腔，接头、药液输送装置和泵体均安装在对应的空腔内，避免接头、药液输送装置和泵体外露，从而减缓接头、连接管、泵体等部件的老化或变形速度，延长供液设备中关键零部件的使用寿命。
本实用新型一种用于半导体工艺的供液设备在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体工艺的供液设备，其特征在于，包括箱体和衬套；所述衬套包括呈十字交叉布置的第一隔板和第二隔板；所述第一隔板沿水平方向设置在所述箱体的内部，以将所述箱体的内部分隔为上下空间；所述第二隔板沿竖直方向设置在所述箱体的内部，以将所述上下空间分隔为多组上部空腔和下部空腔；每一个所述下部空腔内部均设置有药液输送装置和药筒，所述药液输送装置的底部伸入对应的所述药筒的内部且底部浸入所述药筒的药液内；每一个所述上部空腔内部均设置有泵体；所述第一隔板上设置有与所述药液输送装置数量相同的接头，所述接头的顶部和底端分别伸入所述上部空腔和对应的所述下部空腔，且通过所述接头分别连接对应的所述药液输送装置和所述泵体。
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