浙江丽晖智能装备有限公司;北京中企祥科技有限公司董惠军获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江丽晖智能装备有限公司;北京中企祥科技有限公司申请的专利刻蚀机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223728723U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520223216.8，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型刻蚀机是由董惠军;李孟轩;任想想;林宏达;翟虎设计研发完成，并于2025-02-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本刻蚀机在说明书摘要公布了：本公开涉及一种刻蚀机，包括：机台连接柱；托盘组件，用于放置工件；和连接件，包括相互连接的机台连接件和托盘连接件，机台连接件连接机台连接柱，托盘连接件能够承托托盘组件，其中，机台连接件为绝缘材质，且托盘连接件和机台连接柱分别连接在机台连接件的相对两侧，机台连接件能够阻挡连接件与托盘组件之间生成的导电聚合物附着在机台连接柱上，并用于隔断托盘连接件上的导电聚合物与机台连接柱之间的电连接。实现了对托盘组件周围可能生成的导电聚合物的有效隔离。确保了即使托盘组件在加工过程中产生了导电聚合物，这些物质也无法通过托盘连接件直接导通至机台连接柱，从而避免了被等离子体轰击引发的过载现象，提升了生产安全性。
本实用新型刻蚀机在权利要求书中公布了：1.一种刻蚀机，其特征在于，包括： 机台连接柱； 托盘组件，用于放置工件；和 连接件，包括相互连接的机台连接件和托盘连接件，所述机台连接件连接所述机台连接柱，所述托盘连接件能够承托所述托盘组件， 其中，所述机台连接件为绝缘材质，且所述托盘连接件和所述机台连接柱分别连接在所述机台连接件的相对两侧，所述机台连接件能够阻挡所述连接件与所述托盘组件之间生成的导电聚合物附着在所述机台连接柱上，并用于隔断所述托盘连接件上的导电聚合物与所述机台连接柱之间的电连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江丽晖智能装备有限公司;北京中企祥科技有限公司，其通讯地址为：323010 浙江省丽水市莲都区南明山街道绿谷大道309号国际车城15号楼11层-350；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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