深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司姚宝威获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司申请的专利一种分配装置及半导体生产设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223728722U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423322140.9，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种分配装置及半导体生产设备是由姚宝威;朱湛宁设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种分配装置及半导体生产设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种分配装置及半导体生产设备。该分配装置包括主体结构和管路机构，主体结构包括多个开口组，开口组包括多个连通加工腔室的第一开口；管路机构用于连通气流源，管路机构包括对应每一开口组设置的分配组件，分配组件包括多个分支管路，各开口组至少连通有一个分支管路，管路机构还包括多个阀体，各阀体与分支管路一一对应，阀体用于将对应的分支管路开启或关闭。
本实用新型一种分配装置及半导体生产设备在权利要求书中公布了：1.一种分配装置，设置于半导体生产设备，所述半导体生产设备包括加工腔室，其特征在于，所述分配装置包括： 主体结构，包括多个开口组，所述开口组包括多个连通所述加工腔室的第一开口； 管路机构，用于连通气流源，所述管路机构包括对应每一所述开口组设置的分配组件，所述分配组件包括多个分支管路，各所述开口组至少连通有一个分支管路，所述管路机构还包括多个阀体，各所述阀体与各所述分支管路一一对应，所述阀体用于将对应的所述分支管路开启或关闭。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司，其通讯地址为：518111 广东省深圳市龙岗区平湖街道山厦社区中环大道中科谷产业园D栋101；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励