江苏昕感科技有限责任公司陈乃牛获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏昕感科技有限责任公司申请的专利一种离子源灯丝距离调整检查工具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223728721U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520017944.3，技术领域涉及：H01J37/244；该实用新型一种离子源灯丝距离调整检查工具是由陈乃牛;邸太平;蒋亚伟设计研发完成，并于2025-01-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种离子源灯丝距离调整检查工具在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆加工设备技术领域，尤其是一种离子源灯丝距离调整检查工具，包括：放置在两个夹具之间的下定位部和上定位部；所述上定位部与所述下定位部滑动连接，在所述下定位部上还具有对所述上定位部展开、收纳位置进行固定的限位结构；其中在所述下定位部上还具有一拓展部，所述拓展部上设置有对两个夹具高度检测的测量组件，本实用新型中通过设置的下定位部和上定位部，用于在夹具固定时分别放置在两个夹具之间和夹具的固定块之间，如此以保证在灯丝安装时两个夹具的水平度，灯丝夹具缝隙处于平行状态极大减小灯丝所受应力，采用本工具可减少保养时间,降低财产损失，其次可实现快速校准平行度和夹具的高度便捷测量功能。
本实用新型一种离子源灯丝距离调整检查工具在权利要求书中公布了：1.一种离子源灯丝距离调整检查工具，其特征在于，包括： 放置在两个夹具之间的下定位部1和上定位部2； 所述上定位部2与所述下定位部1滑动连接，在所述下定位部1上还具有对所述上定位部2展开、收纳位置进行固定的限位结构3； 其中在所述下定位部1上还具有一拓展部11，所述拓展部11上设置有对两个夹具高度检测的测量组件4。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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