深圳技术大学韩文曼获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳技术大学申请的专利一种微纳加工的光刻胶剥离装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223728136U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520315941.8，技术领域涉及：G03F7/42；该实用新型一种微纳加工的光刻胶剥离装置是由韩文曼;李惠设计研发完成，并于2025-02-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种微纳加工的光刻胶剥离装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种微纳加工的光刻胶剥离装置，属于光刻胶剥离装置的技术领域，包括壳体，所述壳体的内部安装有多个固定盒，所述壳体的内部设置有高压腔和低压腔，所述高压腔和低压腔被多个固定盒分隔开，所述壳体的外表面安装有泵体，所述泵体的输入端与低压腔连接。本实用新型所述的一种微纳加工的光刻胶剥离装置，通过设置固定盒和导流机构等部件，泵体将低压腔内部的化学溶液注入到高压腔的内部，使高压腔内部的化学溶液高度越过导流机构的上端，同时使低压腔内部的化学溶液高度降低，高压腔内部的化学溶液在重力的作用下顺着导流机构流到电路板上，从而对电路板进冲洗，从而增加了剥离效果。
本实用新型一种微纳加工的光刻胶剥离装置在权利要求书中公布了：1.一种微纳加工的光刻胶剥离装置，包括壳体1，其特征在于：所述壳体1的内部安装有多个固定盒2，所述壳体1的内部设置有高压腔3和低压腔4，所述高压腔3和低压腔4被多个固定盒2分隔开，所述壳体1的外表面安装有泵体5，所述泵体5的输入端与低压腔4连接，所述泵体5的输出端与高压腔3连接，所述固定盒2的内壁滑动连接有滑动块6，所述固定盒2的一侧设置有导流机构7，所述导流机构7的下部设置有盒体8，所述盒体8的外表面与固定盒2固定连接，所述滑动块6的下方设置有调节机构9。
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