宇弘研科技(苏州)有限公司周修斌获国家专利权
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龙图腾网获悉宇弘研科技(苏州)有限公司申请的专利一种涂胶显影机晶圆加热装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223728135U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520153038.6,技术领域涉及:G03F7/30;该实用新型一种涂胶显影机晶圆加热装置是由周修斌;安礼余设计研发完成,并于2025-01-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种涂胶显影机晶圆加热装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种涂胶显影机晶圆加热装置,包括显影机主体和加热箱,所述加热箱内部下端安装有加热调节组件,所述加热箱上端安装有降温组件。本实用新型通过安装加热调节组件,当加热温度较高时可通过转动电机使得两侧的加热板处于竖直状态,进而通过降温组件控制显影的温度,确保化学反应在适宜的条件下进行,当加热板需要转动处于竖直状态时,可对电磁铁一和电磁铁二通电,通电后使得电磁铁二从环形卡槽内脱离并磁吸电磁铁一,即可通过转动电机带动转轴转动,从而使得加热板翻转,并断开电磁铁一和电磁铁二的电,电磁铁二在弹簧的的作用下复原,并重新卡进环形卡槽内对转轴进行限位,进而使得加热板不易晃动,提高后续吹风降温的效率。
本实用新型一种涂胶显影机晶圆加热装置在权利要求书中公布了:1.一种涂胶显影机晶圆加热装置,包括显影机主体1和加热箱2,其特征在于:所述加热箱2内部下端安装有加热调节组件3,所述加热箱2上端安装有降温组件4; 所述加热调节组件3包括安装框31,所述安装框31前后侧的左右两端均转动连接有转轴34,左右两端所述转轴34之间均固定连接有加热板32,一侧所述转轴34的外壁均固定连接有电磁铁一341,所述电磁铁一341靠近转轴34的一侧四周均设置有弹簧343,所述弹簧343另一侧均设置有电磁铁二344,所述加热箱2一侧外表面且位于转轴34外侧均固定连接有固定圆板35,所述固定圆板35外侧均开设有环形卡槽351,所述环形卡槽351与电磁铁二344均卡接。
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