芯恩(青岛)集成电路有限公司李宝琪获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利浸没式头罩及浸没式光刻机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223728134U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520444782.1，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型浸没式头罩及浸没式光刻机是由李宝琪;谢世明设计研发完成，并于2025-03-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本浸没式头罩及浸没式光刻机在说明书摘要公布了：本申请提供了一种浸没式头罩及浸没式光刻机，浸没式头罩包括排液机构和检测机构，检测机构安装于浸没式头罩，排液机构包括呈环形设置的间隔水供应孔组、第一针状水提取孔组、气刀孔组和第一外部提取孔组，沿排液机构的径向，间隔水供应孔组、第一针状水提取孔组、气刀孔组和第一外部提取孔组依次间隔，隔水供应孔组和第一针状水提取孔组之间设有第二针状水提取孔组，气刀孔组的外侧设有第二外部提取孔组，当检测机构检测到气刀孔组外侧区域内存在水珠时，第一控制模组提高第一针状水提取孔组、第二针状水提取孔组、第二外部提取孔组和第二外部提取孔组的抽吸力，以将水珠或气泡抽离，防止水珠或气泡使晶圆产生缺陷。
本实用新型浸没式头罩及浸没式光刻机在权利要求书中公布了：1.一种浸没式头罩，用于浸没光刻机，其特征在于，包括： 排液机构，包括呈环形设置的间隔水供应孔组、第一针状水提取孔组、气刀孔组和第一外部提取孔组，沿所述排液机构的径向，所述间隔水供应孔组、所述第一针状水提取孔组、所述气刀孔组和所述第一外部提取孔组依次间隔，所述排液机构还包括： 第二针状水提取孔组，环设于所述隔水供应孔组和所述第一针状水提取孔组之间； 第二外部提取孔组，环设于所述气刀孔组的外侧； 检测机构，安装于所述浸没式头罩，并与所述排液机构的第一控制模组电连接，用于检测位于所述气刀孔组外侧区域内是否有水珠； 所述检测机构检测到所述气刀孔组外侧区域内存在所述水珠时，所述第一控制模组提高所述浸没式头罩对所述第一针状水提取孔组、所述第二针状水提取孔组、所述第二外部提取孔组和所述第二外部提取孔组的抽吸力，以及所述检测机构发出报警信号，并将所述报警信号传输至所述第一控制模组。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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