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龙图腾网获悉顶旭(苏州)微控技术有限公司申请的专利一种接触式桌面紫外曝光装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223728133U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520436024.5，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种接触式桌面紫外曝光装置是由周智君;吴焕;朱彦艳设计研发完成，并于2025-03-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种接触式桌面紫外曝光装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种接触式桌面紫外曝光装置，涉及光刻设备技术领域，包括底座、光刻板吸附装置和晶圆吸附装置，所述底座上设置有曝光头，其内部设有UV‑LED准直光源模块，所述曝光头设置在光刻板吸附装置的上方，所述底座上设置有滑台，所述滑台上安装有XYZR位移台，所述底座上安装有XY位移台，所述XY位移台上安装有显微镜及CCD，所述UV‑LED准直光源模块包括UV‑LED灯珠阵列及阵列式准直透镜，该接触式桌面紫外曝光装置的曝光头采用准直光源模块降低光学衍射误差，提升图形分辨率，自动找平机构半圆球与碗状结构配合确保接触式曝光的均匀性，减少废品率，模块化设计缩小设备体积，成本降低40％以上，支持双层及以上光刻工艺，对准精度≤5μm。

本实用新型一种接触式桌面紫外曝光装置在权利要求书中公布了：1.一种接触式桌面紫外曝光装置，包括底座1、光刻板吸附装置11和晶圆吸附装置3，其特征在于：所述底座1上设置有曝光头2，其内部设有UV-LED准直光源模块，所述曝光头2设置在光刻板吸附装置11的上方，所述底座1上设置有滑台4，所述滑台4上安装有XYZR位移台5，所述底座1上安装有XY位移台6，所述XY位移台6上安装有显微镜及CCD； 其中，所述UV-LED准直光源模块包括UV-LED灯珠阵列及阵列式准直透镜，发射波长为365nm，光线准直度≤2°，所述准直透镜为菲涅尔透镜或微透镜阵列； 其中，所述晶圆吸附装置3固定在XYZR位移台5上，用于调整晶圆方位，所述光刻板吸附装置11安装在滑台4上，用于再对准和光刻位置的切换； 其中，所述晶圆吸附装置3内设有自动找平机构，所述自动找平机构包括半圆球和碗状结构12，所述半圆球位于碗状结构12内，采用半圆球与碗状结构12配合，用于微调光刻板与晶圆的接触面。

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