江苏涟石芯半导体有限公司谢学涛获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏涟石芯半导体有限公司申请的专利一种用于集成电路芯片制造的光刻对准装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223728130U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423268803.3，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种用于集成电路芯片制造的光刻对准装置是由谢学涛;刘建富;常明周设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于集成电路芯片制造的光刻对准装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于集成电路芯片制造的光刻对准装置，涉及集成电路芯片加工技术领域，包括凹形板和两组夹持机构，所述凹形板的上端设置有对准调换机构，所述对准调换机构包括固定板，所述固定板的一侧贯穿安装有气缸，所述凹形板的内部底端固定安装有导轨，所述导轨的外壁滑动安装有两组滑座，两组所述滑座的一端固定安装有一号齿板，所述凹形板的内部底端固定安装有稳定轴座，所述稳定轴座的外壁转动安装有齿轮。本实用新型，能够使光刻机下方一直有集成电路芯片，防止每次光刻完毕后停止光刻机运行，能够节省大量时间，并提高光刻机对集成电路芯片的加工效率。
本实用新型一种用于集成电路芯片制造的光刻对准装置在权利要求书中公布了：1.一种用于集成电路芯片制造的光刻对准装置，包括凹形板1和两组夹持机构14，其特征在于：所述凹形板1的上端设置有对准调换机构2，所述对准调换机构2包括固定板21，所述固定板21的一侧贯穿安装有气缸22，所述凹形板1的内部底端固定安装有导轨23，所述导轨23的外壁滑动安装有两组滑座24，两组所述滑座24的一端固定安装有一号齿板25，所述凹形板1的内部底端固定安装有稳定轴座26，所述稳定轴座26的外壁转动安装有齿轮27，所述齿轮27的外壁啮合有二号齿板28，所述一号齿板25的齿牙与齿轮27的外壁相啮合，所述二号齿板28的一侧与气缸22的伸出端相固定。
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