上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司耿大卫获国家专利权
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龙图腾网获悉上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司申请的专利一种偏振光检测装置及光刻设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223728129U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420671889.5，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种偏振光检测装置及光刻设备是由耿大卫;董佳;余洋;吴晨瑄设计研发完成，并于2024-04-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种偏振光检测装置及光刻设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及光刻技术领域，公开了一种偏振光检测装置及光刻设备，该偏振光检测装置包括分光元件、起偏器以及光电传感器；其中，起偏器为允许预设偏振方向光束完全透射的光学元件；分光元件用于设置在光源的输出光路上，并将光源输出的光束按照设定比例分光形成偏振特性相同的检测光束和曝光光束；且检测光束可入射至起偏器；光电传感器用于检测检测光束经起偏器透射输出的光能量，以确定经曝光光束的偏振方向是否和预设偏振方向相同；其中，预设偏振方向为曝光光束用于曝光时的要求偏振方向。本申请中光束偏振特性检测和光刻过程可同步进行，且光路结构简单易于实现，从而降低光刻设备中偏振光检测难度。
本实用新型一种偏振光检测装置及光刻设备在权利要求书中公布了：1.一种偏振光检测装置，其特征在于，包括：分光元件、起偏器以及光电传感器；其中，所述起偏器为允许预设偏振方向的光束完全透射的光学元件； 所述分光元件用于设置在光源的输出光路上，并将所述光源输出的光束按照设定比例分光形成偏振特性相同的检测光束和曝光光束；且所述检测光束可入射至所述起偏器； 所述光电传感器用于检测所述检测光束经所述起偏器透射输出的光能量，以确定经所述曝光光束的偏振方向是否和所述预设偏振方向相同；其中，所述预设偏振方向为所述曝光光束用于曝光时的要求偏振方向。
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