宇弘研科技(苏州)有限公司周修斌获国家专利权
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龙图腾网获悉宇弘研科技(苏州)有限公司申请的专利一种涂胶显影机的硅片支托装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223728128U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520153101.6,技术领域涉及:G03F7/16;该实用新型一种涂胶显影机的硅片支托装置是由周修斌;安礼余设计研发完成,并于2025-01-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种涂胶显影机的硅片支托装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种涂胶显影机的硅片支托装置,包括支撑底座,所述支撑底座内滑动连接有移动柱,所述移动柱的顶端固定连接有固定圈,所述固定圈内设有调节结构,所述固定圈上转动连接有限位结构,所述固定圈内开设有滑槽,所述限位结构滑动连接在滑槽内,所述限位结构包括若干个限位块和转盘,所述限位块的上方固定连接有导杆。本实用新型通过设置固定圈、限位结构和滑槽,该支托装置通过导杆、转盘和弧形槽之间的配合,从而能够对大尺寸和小尺寸区间内的硅片进行定位处理,确保了所有尺寸硅片在涂胶显影过程中的稳定性,提升了产品的整体质量和一致性,减少了设备更换部件和调整的频率,保障了该支托装置的灵活性。
本实用新型一种涂胶显影机的硅片支托装置在权利要求书中公布了:1.一种涂胶显影机的硅片支托装置,包括支撑底座1,其特征在于:所述支撑底座1内滑动连接有移动柱2,所述移动柱2的顶端固定连接有固定圈3,所述固定圈3内设有调节结构4,所述固定圈3上转动连接有限位结构5,所述固定圈3内开设有滑槽6,所述限位结构5滑动连接在滑槽6内,所述限位结构5包括若干个限位块501和转盘503,所述限位块501的上方固定连接有导杆502,所述转盘503内开设有若干个弧形槽504,所述限位块501的下方设有凸块。
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