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龙图腾网获悉北京石墨烯研究院;北京石墨烯研究院有限公司;北京大学申请的专利晶圆表面处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223728127U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520121707.1，技术领域涉及：G03F7/16；该实用新型晶圆表面处理装置是由胡兆宁;陈格;陈健健;郭兵兵;李泽龙;李艳茹;张文哲;朱丹珠;李虹阳;刘亚宁;林立设计研发完成，并于2025-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆表面处理装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆表面处理装置，其包括：旋转机构单元，包括第一基座和旋转台，旋转台可转动地设置在第一基座上，旋转台具有用于放置晶圆的承载面；涂胶机构单元，包括涂胶喷头，涂胶喷头用于向旋转台上的晶圆的表面进行涂胶；烘干机构，包括烘干灯，烘干灯的位置可调，烘干灯具有相对设置的第一工作位置和第一避让位置，烘干灯位于旋转台的外侧；抓取机构，抓取机构用于将第一工位上的晶圆抓取至旋转台上，且抓取机构用于将旋转台上的晶圆抓取至第二工位上。解决了现有技术中的手动将晶圆转移至独立的加热台上进行固化处理，容易导致涂覆有胶层的晶圆在转移过程中，引入新的污染或损伤，影响光刻胶厚度的一致性以及固化效果的问题。

本实用新型晶圆表面处理装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆表面处理装置，其特征在于，包括： 旋转机构单元10，包括第一基座11和旋转台12，所述旋转台12可转动地设置在所述第一基座11上，所述旋转台12具有承载面，所述承载面用于放置晶圆01； 涂胶机构单元20，包括涂胶喷头21，所述涂胶喷头21用于向所述旋转台12上的晶圆01的表面进行涂胶； 烘干机构30，包括烘干灯31，所述烘干灯31的位置可调，所述烘干灯31具有相对设置的第一工作位置和第一避让位置，当所述烘干灯31处于所述第一工作位置时，所述烘干灯31与所述旋转台12相对设置以烘干所述晶圆01表面的胶层；当所述烘干灯31处于所述第一避让位置时，所述烘干灯31位于所述旋转台12的外侧； 抓取机构40，所述抓取机构40用于将第一工位上的晶圆01抓取至所述旋转台12上，且所述抓取机构40用于将所述旋转台12上的所述晶圆01抓取至第二工位上。

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