深圳大学肖全兰获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳大学申请的专利一种无源大视场硅基光学相控阵获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223728096U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520359640.5，技术领域涉及：G02F1/295；该实用新型一种无源大视场硅基光学相控阵是由肖全兰;王童;闫培光;梁耿钦设计研发完成，并于2025-03-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种无源大视场硅基光学相控阵在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种无源大视场硅基光学相控阵，包括：硅基底、二氧化硅埋氧层和氮化硅层；氮化硅层包括倒锥型耦合波导、光分束模块、相位延迟模块和波导光栅天线模块，倒锥型耦合波导用于将输入光耦合至光分束模块中，光分束模块用于将输入光产生的光信号等分成N路等功率的子光信号，相位延迟模块包括几字型波导阵列和正弦型波导阵列，几字型波导阵列用于对每一路子光信号进行相位调控，正弦型波导阵列用于缩小波导间距，波导光栅天线模块用于辐射正弦型波导阵列输出的光能量。本申请的光学相控阵无需使用电调或热调改变相位，同时在通过朝紧凑排列的正弦型波导阵列后，可实现光学相控阵的大视场扫描。
本实用新型一种无源大视场硅基光学相控阵在权利要求书中公布了：1.一种无源大视场硅基光学相控阵，其特征在于，包括： 硅基底； 二氧化硅埋氧层，所述二氧化硅埋氧层设置于所述硅基底的上表面； 氮化硅层，所述氮化硅层设置于所述二氧化硅埋氧层的上表面；所述氮化硅层包括倒锥型耦合波导、光分束模块、相位延迟模块和波导光栅天线模块，所述倒锥型耦合波导用于将输入光耦合至所述光分束模块中，所述光分束模块用于将输入光产生的光信号等分成N路等功率的子光信号，所述相位延迟模块包括几字型波导阵列和正弦型波导阵列，所述几字型波导阵列用于对每一路子光信号进行相位调控，使得任意相邻两路子光信号之间具有相同的相位差，所述正弦型波导阵列用于缩小波导间距，所述波导光栅天线模块用于辐射所述正弦型波导阵列输出的光能量，N大于等于2。
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