天津理工大学杨正春获国家专利权
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龙图腾网获悉天津理工大学申请的专利一种基于激光校准电感法的晶圆电阻率无损检测设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223727911U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422793254.5，技术领域涉及：G01R27/02；该实用新型一种基于激光校准电感法的晶圆电阻率无损检测设备是由杨正春;蒋文龙;曲子濂设计研发完成，并于2024-11-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于激光校准电感法的晶圆电阻率无损检测设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种基于激光校准电感法的晶圆电阻率无损检测设备，包括两轴工作台以及安装在该两轴工作台上的检测探头，通过两轴工作台能够控制检测探头的检测位置，在检测探头上设置有激光测距传感器和电感传感器。本设备将电感线圈和激光测距传感器进行集成并同步工作，当电感线圈进行电阻率检测时，激光测距传感器会实时检测LOD值，并根据LOD值，对测得的电阻率值进行修正，该设备能够在不使用高精度定位系统的条件下明显提高电感法电阻率检测的精度，大幅降低晶圆电阻率检测设备的成本。
本实用新型一种基于激光校准电感法的晶圆电阻率无损检测设备在权利要求书中公布了：1.一种基于激光校准电感法的晶圆电阻率无损检测设备，其特征在于：包括XY两轴工作台以及安装在该XY两轴工作台上的检测探头； 所述检测探头上设置有激光测距传感器和电感传感器，其中，所述电感传感器用于通过电感法检测晶圆的电阻率，所述激光测距传感器，用于检测电感传感器距离晶圆表面的距离； 所述XY两轴工作台包括基座、X轴移动机构和Y轴移动机构，X轴移动机构安装在基座上，Y轴移动机构安装在X轴移动机构上，通过X轴移动机构驱动Y轴移动机构沿X轴方向移动，所述检测探头安装在Y轴移动机构上，通过Y轴移动机构驱动检测探头沿Y轴方向移动。
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