深圳市创视微端智能有限公司莫子颖获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市创视微端智能有限公司申请的专利一种用于掩模板检测反射光和透射光精确对准的机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223727728U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423280603.X，技术领域涉及：G01N21/956；该实用新型一种用于掩模板检测反射光和透射光精确对准的机构是由莫子颖;郝明毅;图姆比科·姆布齐设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于掩模板检测反射光和透射光精确对准的机构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于掩模板检测反射光和透射光精确对准的机构，属于掩模板检测技术领域，包括驱动结构、反射光学系统和透射照明模组，所述反射光学系统和透射照明模组呈上下设置，所述驱动结构用于对反射光学系统和透射照明模组进行同步驱动。通过采用驱动结构对反射光学系统和透射照明模组进行同步驱动，能够利用机械结构硬连接的方法使反射光学系统和透射照明模组的反射和透射中心精确对准。
本实用新型一种用于掩模板检测反射光和透射光精确对准的机构在权利要求书中公布了：1.一种用于掩模板检测反射光和透射光精确对准的机构，包括驱动结构100、反射光学系统200和透射照明模组300，其特征在于，所述反射光学系统200和透射照明模组300呈上下设置，所述驱动结构100用于对反射光学系统200和透射照明模组300进行同步驱动。
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