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芯恺半导体设备(徐州)有限责任公司钟佑恺获国家专利权

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龙图腾网获悉芯恺半导体设备(徐州)有限责任公司申请的专利一种用于半导体设备的测温结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223727285U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520317431.4,技术领域涉及:G01K7/02;该实用新型一种用于半导体设备的测温结构是由钟佑恺;祖贺远设计研发完成,并于2025-02-26向国家知识产权局提交的专利申请。

一种用于半导体设备的测温结构在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种用于半导体设备的测温结构,包括:热电偶、安装组件和两个连接端子;安装组件可拆卸地连接在半导体设备的炉体上,安装组件的中央区域具有第一通孔;连接端子与安装组件的边缘区域绝缘连接;热电偶具有相对的热端和冷端,热端设置在炉体内的被测点处;冷端穿过第一通孔从而伸出安装组件,螺纹连接在安装组件上;热电偶的冷端具有两根导线,分别与两个所述连接端子连接;所述连接端子还与采集系统连接,从而通过所述连接端子将热电偶的信号传输至采集系统;其中,所述热电偶的冷端伸出安装组件的长度可调,从而调节所述热电偶的位置;本实用新型的测温结构能够调整热电偶的测温位置,从而更准确地对半导体设备进行测温。

本实用新型一种用于半导体设备的测温结构在权利要求书中公布了:1.一种用于半导体设备的测温结构,其特征在于,包括:热电偶、安装组件和两个连接端子; 所述安装组件可拆卸地连接在所述半导体设备的炉体上,所述安装组件的中央区域具有第一通孔; 所述连接端子与所述安装组件的边缘区域绝缘连接; 所述热电偶具有相对的热端和冷端,所述热端设置在炉体内的被测点处;所述冷端穿过所述第一通孔从而伸出所述安装组件,螺纹连接在所述安装组件上;所述热电偶的冷端具有两根导线,所述两根导线分别与两个所述连接端子连接; 所述连接端子还与采集系统连接,从而通过所述连接端子将热电偶的信号传输至采集系统; 其中,所述热电偶的冷端伸出安装组件的长度可调,从而调节所述热电偶的热端位置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人芯恺半导体设备(徐州)有限责任公司,其通讯地址为:221100 江苏省徐州市高新技术产业开发区珠江路电子信息产业园3号厂房;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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