宁波江丰电子材料股份有限公司边逸军获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波江丰电子材料股份有限公司申请的专利一种半导体晶圆加热器的温度均匀性检验工装获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223727284U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520160881.7，技术领域涉及：G01K7/02；该实用新型一种半导体晶圆加热器的温度均匀性检验工装是由边逸军;姚力军;汤婷;杨慧珍;蒋新峰设计研发完成，并于2025-01-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体晶圆加热器的温度均匀性检验工装在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种半导体晶圆加热器的温度均匀性检验工装，所述温度均匀性检验工装包括盘体；所述盘体的中心设置测温孔；由所述盘体的中心向外依次同心设置有至少1层测温结构；每层所述测温结构包括沿圆周方向布置的测温孔；所述测温孔内设置有测温热电偶；所述盘体的底面位于半导体晶圆加热器的上方；所述测温热电偶穿过测温孔并与半导体晶圆加热器的上表面接触。本实用新型提供的温度均匀性检验工装通过设置多层测温结构，能够提高温度检测的精度，有效评估温度的均匀性，并且简化检测操作，提高检测效率。
本实用新型一种半导体晶圆加热器的温度均匀性检验工装在权利要求书中公布了：1.一种半导体晶圆加热器的温度均匀性检验工装，其特征在于，所述温度均匀性检验工装包括盘体； 所述盘体的中心设置测温孔； 由所述盘体的中心向外依次同心设置有至少1层测温结构； 每层所述测温结构包括沿圆周方向布置的测温孔； 所述测温孔内设置有测温热电偶； 所述盘体的底面位于半导体晶圆加热器的上方； 所述测温热电偶穿过测温孔并与半导体晶圆加热器的上表面接触。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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